[發明專利]一種用于化學氣相沉積反應的一體化在線檢測系統

有效

• 申請號: 201310752495.9
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103710684A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 馬江寧;崔向中;雷新更;傅旭;姜春竹;周國棟
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司北京航空制造工程研究所
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種用于化學氣相沉積反應的一體化在線檢測系統，其特征是，所述的系統具體包括：

化學反應子系統；

進氣子系統，包括氣體質量流量計，與所述化學反應子系統相連接；

抽真空子系統，與所述的化學反應子系統相連接；

氣體采集子系統，與所述的化學反應子系統相連接；

控制子系統，分別與所述的進氣子系統、抽真空子系統、氣體采集子系統以及化學反應子系統相連接，用于采集所述氣體質量流量計的流量，采集所述化學反應子系統的壓力值、溫度值、氣體濃度，根據所述的流量、壓力值、溫度值以及氣體濃度進行PID控制。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征是，所述的化學反應子系統具體包括：

與所述氣體質量流量計相連接的固定床；

與所述的固定床相連接的微孔分布板；

與所述微孔分布板相連接的流化床；

向所述流化床、固定床加熱的加熱爐；

與所述的流化床相連接的過濾網。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征是，所述的抽真空子系統具體包括：

與所述固定床相連的第一抽真空氣動閥；

與所述第一抽真空氣動閥相連接的真空泵；

與所述過濾網相連接的排氣閥。

4.根據權利要求3所述的系統，其特征是，所述的抽真空子系統還包括與所述過濾網、所述真空泵相連接的第二抽真空氣動閥。

5.根據權利要求4所述的系統，其特征是，所述的氣體采集子系統具體包括：

與所述過濾網相連接的氣體質譜儀以及氣相色譜儀；

與所述流化床相連接的顆粒采樣器；

與所述流化床以及固定床相連接的壓力傳感器、溫度傳感器。

6.根據權利要求5所述的系統，其特征是，所述的氣體采集子系統還包括分別與所述過濾網、所述氣體質譜儀、氣相色譜儀相連接的氣動控制閥。

7.根據權利要求5所述的系統，其特征是，所述的氣體采集子系統還包括分別與所述過濾網、所述顆粒采樣器相連接的第一顆粒采樣氣動閥。

8.根據權利要求5所述的系統，其特征是，所述的氣體采集子系統還包括分別與所述真空泵、所述顆粒采樣器相連接的第二顆粒采樣氣動閥。

9.根據權利要求5所述的系統，其特征是，所述的控制子系統具體包括：

溫度變送器，與所述的溫度傳感器相連接，用于將所述化學反應子系統的溫度值轉化為電信號，傳送至可編程邏輯控制器PLC；

繼電器，與所述的真空泵、所述的加熱爐相連接；

氣體分配器，與所述的PLC、第一抽真空氣動閥、排氣閥、第二抽真空氣動閥、氣動控制閥、第一顆粒采樣氣動閥、第二顆粒采樣氣動閥相連接；

色譜工作站，與所述的氣相色譜儀相連接，用于將所述氣相色譜儀輸出的信號轉化為電信號，傳送至工業控制計算機；

所述的工業控制計算機，與所述的PLC、所述氣體質譜儀以及所述的色譜工作站相連接，用于根據所述氣相色譜儀輸出的信號、所述氣體質譜儀輸出的信號確定出所述化學反應子系統的氣體濃度；

所述的PLC，用于采集所述氣體質量流量計的流量，采集所述化學反應子系統的壓力值、溫度值、氣體濃度，根據所述的流量、壓力值、溫度值以及氣體濃度進行PID控制。

10.根據權利要求9所述的系統，其特征是，所述的控制子系統還包括人機交互界面，與所述的工業控制計算機相連接，用于采集用戶輸入的控制信號，所述的控制信號用于控制第一抽真空氣動閥、排氣閥、第二抽真空氣動閥、氣動控制閥、第一顆粒采樣氣動閥、第二顆粒采樣氣動閥的開關。