[發明專利]一種基板清洗設備

有效

• 申請號: 201310752372.5
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103691715A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 劉建輝;丁欣;陳甫;張亮;袁濤;劉祖宏;吳代吾;侯智
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;H01L21/66
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種基板清洗設備，其特征在于，包括機架、用于盛放玻璃基板的載臺、安裝有超聲波發射器的清洗頭本體、至少一個激光位移傳感器、以及信號處理器；其中，

所述載臺固定于所述機架；

所述清洗頭本體位于所述載臺上方，且可滑動地安裝于所述機架；

所述激光位移傳感器安裝于所述清洗頭本體、且通過向所述玻璃基板表面發射激光探測射線來測量所述激光位移傳感器與所述玻璃基板表面之間的距離信息；

所述信號處理器與所述激光位移傳感器信號連接、且用于當所述激光位移傳感器與所述玻璃基板表面之間的距離信息出現異常時判斷玻璃基板破損。

2.根據權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，還包括與所述信號處理器信號連接的報警裝置，所述信號處理器還用于當所述激光位移傳感器與所述玻璃基板之間的距離信息出現異常時生成報警信號，并根據所述報警信號控制所述報警裝置進行報警。

3.根據權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，還包括：

與所述信號處理器信號連接、根據所述信號處理器接收到的距離信息繪制點位分析圖的繪圖設備；

與所述繪圖設備信號連接以顯示所述點位分析圖的顯示器。

4.根據權利要求1～3任一項所述的基板清洗設備，其特征在于，所述激光位移傳感器為多個，且沿與所述清洗頭本體滑動方向相垂直的方向緊密排列。

5.根據權利要求4所述的基板清洗設備，其特征在于，還包括與所述清洗頭本體固定連接的傳感器安裝支架，每一個所述激光位移傳感器固定于所述傳感器安裝支架。

6.根據權利要求5所述的基板清洗設備，其特征在于，所述清洗頭本體具有開口朝向所述載臺的凹槽，所述傳感器安裝支架嵌設于所述凹槽內。

7.根據權利要求4所述的基板清洗設備，其特征在于，所述清洗頭本體具有開口朝向所述載臺、且與所述激光位移傳感器一一對應的嵌槽，每一個所述激光位移傳感器嵌設于與其對應的所述嵌槽內。