[發明專利]一種基板清洗設備

有效

• 申請號: 201310752372.5
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103691715A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 劉建輝;丁欣;陳甫;張亮;袁濤;劉祖宏;吳代吾;侯智
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;H01L21/66
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及液晶顯示裝置制造設備領域，尤其涉及一種基板清洗設備。

背景技術

在半導體以及液晶顯示領域，真空設備是非常重要的生產設備。真空設備維護起來異常艱辛，特別是在真空設備異常停機時，則需要開腔以對其內部進行檢修，但是，真空設備在開腔前一般需要長達幾小時的降溫及其它一些特別的處理，而且在檢修完成并組裝好后，還需要對其進行長達7～8小時的升溫和抽真空操作，在抽真空完成后還需要進行長達3～4小時的恢復作業才能夠恢復正常生產，這樣嚴重影響了設備的稼動率。因此，在每塊玻璃基板被送入真空設備之前，都需要檢測玻璃基板是否有破損，以防止有破損的玻璃基板在真空設備的真空腔中破碎而造成真空設備異常停機。

現有技術中通常采用真空吸附的方式檢測玻璃基板是否有破碎，但是，真空吸附的方式檢測玻璃基板時的盲區較多，且無法檢測出玻璃基板中存在的裂紋，容易對玻璃基板上的破損處出現漏檢的情況。

發明內容

本發明的目的是提供一種基板清洗設備，能夠在對玻璃基板進行清洗的同時檢測出玻璃基板是否存在破損，且檢出率高。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種基板清洗設備，包括機架、用于盛放玻璃基板的載臺、安裝有超聲波發射器的清洗頭本體、至少一個激光位移傳感器、以及信號處理器；其中，

所述載臺固定于所述機架；

所述清洗頭本體位于所述載臺上方，且可滑動地安裝于所述機架；

所述激光位移傳感器安裝于所述清洗頭本體、且通過向所述玻璃基板表面發射激光探測射線來測量所述激光位移傳感器與所述玻璃基板表面之間的距離信息；

所述信號處理器與所述激光位移傳感器信號連接、且用于當所述激光位移傳感器與所述玻璃基板表面之間的距離信息出現異常時判斷玻璃基板破損。

采用本發明提供的基板清洗設備對玻璃基板進行清洗時，將玻璃基板放置于載臺上，并操縱清洗頭本體在玻璃基板上方按照設定方向在機架上移動，在清洗頭本體移動的過程中，清洗頭本體上的超聲波發射器向玻璃基板表面持續發射超聲波以清除玻璃基板表面的塵埃，同時，安裝于清洗頭本體朝向載臺一側的激光位移傳感器向整張玻璃基板的表面持續發射激光探測射線，以測量激光位移傳感器與玻璃基板表面之間的距離信息，且將測量到的激光位移傳感器與玻璃基板表面之間的距離信息實時反饋給信號處理器；當激光位移傳感器發射的激光探測射線照射到玻璃基板上的裂紋或者缺損部位時，激光位移傳感器測量出的其與玻璃基板表面的裂紋或者缺損部位之間的距離信息則會出現明顯異常，當信號處理器發現接收到的距離信息出現異常時則判斷被測玻璃基板破損。

因此，本發明提供的基板清洗設備能夠準確地檢測出被測玻璃基板是否有破損，避免了漏檢的情況出現，且有效地提高了破損的玻璃基板的檢出率，降低了因玻璃基板破損而致使真空設備受損的問題出現的概率。

優選地，本發明提供的基板清洗設備還包括與所述信號處理器信號連接的報警裝置，所述信號處理器還用于當所述激光位移傳感器與所述玻璃基板之間的距離信息出現異常時生成報警信號，并根據所述報警信號控制所述報警裝置進行報警。通過警報裝置可以直觀地提醒操作人員被檢玻璃基板有破損，而不需要操作人員實時觀察信號處理器的處理結果，進一步避免了造成漏檢的情況出現。

優選地，本發明提供的基板清洗設備還包括：

與所述信號處理器信號連接、根據所述信號處理器接收到的距離信息繪制點位分析圖的繪圖設備；

與所述繪圖設備信號連接以顯示所述點位分析圖的顯示器。

若被檢測玻璃基板有破損，操作人員還可以通過顯示器直觀地看到玻璃基板表面破損點的大致位置、以及破損點處的玻璃基板的破損程度等信息，從而方便操作人員對玻璃基板表面的破損處進行確認。

優選地，所述激光位移傳感器為多個，且沿與所述清洗頭本體滑動方向相垂直的方向緊密排列。

優選地，還包括與所述清洗頭本體固定連接的傳感器安裝支架，每一個所述激光位移傳感器固定于所述傳感器安裝支架。以方便激光位移傳感器的安裝，同時可以提高激光位移傳感器的安裝精度。

優選地，所述清洗頭本體具有開口朝向所述載臺的凹槽，所述傳感器安裝支架嵌設于所述凹槽內，以使清洗頭本體的結構更為緊湊。

優選地，所述清洗頭本體具有開口朝向所述載臺、且與所述激光位移傳感器一一對應的嵌槽，每一個所述激光位移傳感器嵌設于與其對應的所述嵌槽內。