[發明專利]一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成及其在負性光致抗蝕劑中的應用在審
| 申請號： | 201310752042.6 | 申請日： | 2013-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN103848930A | 公開（公告）日： | 2014-06-11 |
| 發明（設計）人： | 劉曉亞;鄭祥飛;劉敬成;劉仁;穆啟道;孫小俠;龔韻華;盧楊斌 | 申請（專利權）人： | 蘇州瑞紅電子化學品有限公司;江南大學 |
| 主分類號： | C08F8/00 | 分類號： | C08F8/00;C08F222/40;C08F220/06;C08F220/14;C08F220/18;G03F7/004;G03F7/00 |
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| 地址： | 215124 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 苯基 馬來 亞胺 光敏 丙烯酸 樹脂 合成 及其 負性光致抗蝕劑 中的 應用 | ||
1.一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于制備步驟如下：
(1)將一部分溶劑于反應器中加熱至75-90℃回流；
(2)將反應單體、熱引發劑和其余溶劑混合均勻后勻速滴加至反應器中，滴加完后保溫反應6-10個小時；
(3)第一步反應完成后升溫至100-130℃，將甲基丙烯酸縮水甘油酯、阻聚劑、催化劑、適量溶劑混合均勻后勻速滴加到反應器中，保溫反應6-10個小時。
2.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(1)所用的溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯。
3.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(2)所用單體為甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、N-苯基馬來酰亞胺(N-PMI)、甲基丙烯酸環己基脂(CHMA)，熱引發劑為偶氮二異丁腈，溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯。
4.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(3)中所用的溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯，阻聚劑為四甲氧基酚，催化劑為三苯基膦。
5.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(2)(甲基)丙烯酸摩爾含量為單體摩爾總量的25％-45％，N-苯基馬來酰亞胺摩爾含量為單體摩爾總量的12.5％-50％，引發劑摩爾含量為單體總摩爾量的1-3％。
6.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(3)阻聚劑量為甲基丙烯酸縮水甘油酯質量的1％，催化劑量為甲基丙烯酸縮水甘油酯質量的2％。
7.根據權利要求1所述的一種含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂的合成方法，其特征在于：步驟(2)和步驟(3)的體系固含為30-45％。
8.根據權利要求1-7所述的含N-苯基馬來酰亞胺光敏丙烯酸樹脂，其用途在于：可以作為負性光致抗蝕劑的成膜樹脂，光致抗蝕劑配方如下：
9.根據權利要求8所述的負性光致抗蝕劑的顯影條件：
(a)將權利8中所述的光致抗蝕劑涂覆在銅板上，70-120℃條件下預烘一段時間；
(b)將菲林片覆蓋在烘好的樣品上，在90-140mj/cm2條件下曝光；
(c)將曝光好的樣品置于Na2CO3溶液中顯影，得到光致抗蝕劑圖案。
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