[發明專利]一種劃片機回轉軸中心位置調整方法、裝置及劃片機

有效

• 申請號: 201310750691.2
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103728989A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 劉曉斌;樊兵;劉婷婷
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: G05D3/12
• 分類號: G05D3/12;B28D5/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

技術領域

本發明涉及機械設計及制造領域，特別是涉及一種劃片機回轉軸中心位置調整方法、裝置及劃片機。

背景技術

劃片機廣泛應用于半導體切割領域，它的工作臺幾何中心與CCD鏡頭幾何中心重合時的位置直接決定著劃片機切割刀的劃切位置，其精度的高低決定了切割道X行進步距和劃切街區的偏差多少。

作為一種高精尖的高速精密設備，普通的劃片機中一般采用第三方的測量工具來測定工作臺幾何中心與CCD鏡頭的幾何中心，來調整其回轉軸中心位置。由于引入了第三方的測量工具，就不可避免的添加其他不確定因素，造成工作臺幾何中心和CCD鏡頭幾何中心有一定的精度誤差。此種方法調整的劃片機回轉軸中心，對于一般精度要求不高，劃切街區大，集成度小的晶圓或者玻璃小型切割物等，一般影響不大。隨著科技的發展，芯片的集成度越來越高，單一晶圓上集成的芯片越來越多，其劃切街區越來越小。在這種情況下，采用第三方工具來測量劃片機回轉軸的中心位置因誤差過大，切割道就不能與劃切街區很好的重合，工作臺幾何中心與CCD鏡頭的幾何中心的誤差越大，越靠近切割晶圓的邊緣，其偏差越大，就越有可能劃切上切割晶圓的芯片。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種劃片機回轉軸中心位置調整方法、裝置及劃片機，可以解決現有劃片機回轉軸中心位置調整由于采用第三方測量工具而造成切割物的劃切區劃割精度不高的問題。

為了解決上述技術問題，本發明的實施例提供一種劃片機回轉軸中心位置調整方法，其中，該方法包括如下步驟：

獲取劃片機CCD鏡頭幾何中心點與所述劃片機工作臺上一特征點重合后，所述鏡頭幾何中心點在一坐標系中Y軸上的第一坐標參數以及工作臺幾何中心點在X軸上的第二坐標參數；

獲取在工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿一預設方向旋轉一預設角度后所述鏡頭幾何中心點與所述特征點再次重合后，所述鏡頭幾何中心點在Y軸上的第三坐標參數以及所述工作臺幾何中心點在X軸上的第四坐標參數；

根據所述第一坐標參數、所述第二坐標參數、所述第三坐標參數、所述第四坐標參數，獲取所述X軸與所述Y軸的交點坐標參數；其中，所述交點為所述回轉軸中心位置點；

根據所述交點坐標參數，控制所述鏡頭幾何中心點、所述工作臺幾何中心點與所述交點重合。

進一步地，所述預設角度為90度。

進一步地，所述獲取在工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿一預設方向旋轉一預設角度后所述鏡頭幾何中心點與所述特征點再次重合后，所述鏡頭幾何中心點在Y軸上的第三坐標參數以及所述工作臺幾何中心點在X軸上的第四坐標參數的步驟具體為：

獲取在工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿逆時針方向旋轉90度后所述鏡頭幾何中心點與所述特征點再次重合后，所述鏡頭幾何中心點在Y軸上的第三坐標參數以及所述工作臺幾何中心點在X軸上的第四坐標參數；或者

獲取在工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿順時針方向旋轉90度后所述鏡頭幾何中心點與所述特征點再次重合后，所述鏡頭幾何中心點在Y軸上的第三坐標參數以及所述工作臺幾何中心點在X軸上的第四坐標參數。

進一步地，所述根據所述第一坐標參數、所述第二坐標參數、所述第三坐標參數、所述第四坐標參數，獲取所述X軸與所述Y軸的交點坐標參數的步驟具體為：

在所述工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿逆時針方向旋轉90度時，根據公式x0=(x2+x1+y1-y2)/2，以及公式y0=(x2-x1+y1+y2)/2，計算得到所述X軸與所述Y軸的交點坐標參數（x0，y0）；其中，y1為第一坐標參數，y2為第三坐標參數，x1為第二坐標參數，x2為第四坐標參數，（x0，y0）為所述回轉軸中心位置點坐標參數；或者

在所述工作臺繞所述工作臺幾何中心點沿順時針方向旋轉90度時，根據公式x0=(x2+x1+y2-y1)/2，以及公式y0=(x1-x2+y1+y2)/2，計算得到所述X軸與所述Y軸的交點坐標參數（x0，y0）；其中，y1為第一坐標參數，y2為第三坐標參數，x1為第二坐標參數，x2為第四坐標參數，（x0，y0）為所述回轉軸中心位置點坐標參數。

為了解決上述技術問題，本發明的實施例還提供一種劃片機回轉軸中心位置調整裝置，其中，該裝置包括：

第一獲取模塊，用于獲取劃片機CCD鏡頭幾何中心點與所述劃片機工作臺上一特征點重合后，所述鏡頭幾何中心點在一坐標系中Y軸上的第一坐標參數以及工作臺幾何中心點在X軸上的第二坐標參數；