[發(fā)明專利]TFT?LCD陣列基板及其數(shù)據(jù)線斷線的修復(fù)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310747068.1
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103885262B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐亮
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/13;H01L27/12;H01L21/768
• 代理公司: 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司44217
• 代理人: 蔡曉紅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種TFT-LCD基板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT-LCD陣列基板及其數(shù)據(jù)線斷線的修復(fù)方法。?

背景技術(shù)

隨著信息社會的發(fā)展，人們對顯示設(shè)備的需求得到了增長。為了滿足這種不斷增長地需求，平板顯示設(shè)備比如液晶顯示器件（Liquid?Crystalline?Display?LCD）、等離子體顯示器件（Plasma?Display?Panel，PDP）、OLED（Organic?Light-Emitting?Diode）顯示器件等都得到了迅猛的發(fā)展。在平板顯示器件當(dāng)中，液晶顯示器件由于其重量低、體積小、能耗低的優(yōu)點，正在逐步取代冷陰極顯示設(shè)備。?

最初的液晶顯示器件是被動驅(qū)動，所謂被動驅(qū)動，是將電壓直接加在像素的上下電極上。通過上下電極上的電壓差來驅(qū)動液晶，形成亮暗顯示。目前主流基本上都是使用薄膜晶體管（Thin?Film?Transistor，TFT）來驅(qū)動液晶，TFT開關(guān)在信號控制下打開和關(guān)斷，將不同的電壓寫入下基板（陣列基板）的像素電極。寫入后，TFT在信號作用下關(guān)斷，將電壓保持住，從而實現(xiàn)了高分辨率和高灰階數(shù)。其中TFT的控制信號通過柵線輸入，像素電極上的電壓通過數(shù)據(jù)線輸入。?

目前TFT液晶顯示器件基本上分辨率都能實現(xiàn)1920×1080，甚至有的能達(dá)到3840×2160的分辨率。每個液晶顯示器件上有幾百萬個像素和接近一萬條數(shù)據(jù)線或者柵線。這么多線，不發(fā)生斷線是很難做到的。所以在實際生產(chǎn)過程中，一般都會引入斷線的修復(fù)流程。其中其修復(fù)方法的好壞，對于修復(fù)成功率有著很大的影響。?

目前常用的修復(fù)方法是：采用Laser?CVD(chemical?vapor?deposition)來修復(fù)。其原理是通過激光催化六羰基鎢分解，鎢金屬沉積在基板表面，起到導(dǎo)體?作用來實現(xiàn)的。修復(fù)方法包括：通過Laser?CVD在斷線的部位生長金屬鎢；通過Laser?Cut把旁邊的像素電極ITO（Indium?Tin?Oxides）打斷；通過激光熔融兩個端點，讓金屬鎢和絕緣膜下面的金屬走線連接在一起。這種修復(fù)工藝對于一般的陣列基板而言比較適合。由于其各層膜厚都不是很高，一般0.3～0.4um，最厚的也一般不會超過0.6um。在修復(fù)時，這些不同厚度的膜厚造成的段差相對不大；所以金屬鎢在沉積的時候相對不容易斷線，修復(fù)成功率也相對有保障。?

然而，對于采用COA技術(shù)（Color?Filter?On?Array）制成的TFT-LCD陣列基板而言，其中色層（RGB層）的膜厚都比較厚，達(dá)到3um～5um，這樣按照上述方式進行斷線修復(fù)時，其熔融的厚度較大，接觸深度較深，沉積上的金屬鎢非常容易斷線，導(dǎo)致修復(fù)成功率降低。?

因此需要提供一種能夠提高采用COA技術(shù)制成的TFT-LCD陣列基板的斷線修復(fù)成功率的數(shù)據(jù)線斷線修復(fù)方法。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對上述缺陷，提供一種TFT-LCD陣列基板，同時還提供一種能夠提高該TFT-LCD陣列基板修復(fù)成功率的數(shù)據(jù)線斷線修復(fù)方法。?

本發(fā)明提供的一種TFT-LCD陣列基板，包括由下向上依次設(shè)置的第一金屬層、第二金屬層和透明電極層，所述第一金屬層中形成有柵線和共通電極線，所述第二金屬層中形成有數(shù)據(jù)線，所述透明電極層中形成有像素電極，所述柵線與數(shù)據(jù)線交叉形成像素區(qū)域，所述像素電極以及所述共通電極線裝設(shè)于所述像素區(qū)域中，所述共通電極線包括相互連接的第一電極線和第二電極線，所述第二電極線與所述數(shù)據(jù)線在所述第二金屬層上的投影相互平行，所述第一電極線與所述數(shù)據(jù)線在所述第二金屬層上的投影相交。?

上述的TFT-LCD陣列基板中，所述第一電極線為平行于所述柵線的整體結(jié)構(gòu)，所述第二電極線為垂直于所述柵線的間斷結(jié)構(gòu)。?

上述的TFT-LCD陣列基板中，所述第二電極線包括相互平行設(shè)置的第一第二電極線和第二子電極線，所述共通電極線為由所述第一子電極線、第二子電極線以及第一電極線相互連接構(gòu)成的H型結(jié)構(gòu)。?

上述的TFT-LCD陣列基板，所述TFT-LED陣列基板還包括連接線，所述連接線與所述像素電極同層設(shè)置，所述連接線跨設(shè)在所述柵線上，所述連接線的一端與所述柵線一側(cè)的第二子電極線連接，所述連接線的另一端與所述柵線另一側(cè)的第二子電極線連接。?

上述的TFT-LCD陣列基板中，分別位于每條所述柵線兩側(cè)的所述共通電極線通過所述連接線相互連通。?

本發(fā)明還提供一種TFT-LCD陣列基板的數(shù)據(jù)線斷線修復(fù)方法，包括：?