[發(fā)明專利]蒸鍍?cè)O(shè)備及其蒸鍍方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310746560.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103695848A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙德江;崔偉;王路
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示裝置制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸鍍?cè)O(shè)備及其蒸鍍方法。

背景技術(shù)

OLED(Organic?Light?Emitting?Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示裝置由于具有自發(fā)光、無(wú)需背光模組、對(duì)比度以及清晰度高、視角寬、全固化、適用于撓曲性面板、溫度特性好、低功耗、響應(yīng)速度快以及制造成本低等一系列優(yōu)異特性，已經(jīng)成為新一代平面顯示裝置的重點(diǎn)發(fā)展方向之一，因此日益受到越來(lái)越多的關(guān)注。

現(xiàn)有技術(shù)中，OLED顯示器件的基本結(jié)構(gòu)包括陽(yáng)極層，功能膜層以及陰極層等；上述功能膜層包括：空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層以及電子傳輸層等；其中，有機(jī)發(fā)光層的成膜方法有很多種，包括蒸鍍成膜法、分子束外延法、有機(jī)化學(xué)氣相沉積法以及溶膠-凝膠法等；其中，蒸鍍成膜法由于具有操作簡(jiǎn)單、膜厚容易控制、對(duì)薄膜的污染小以及易于實(shí)現(xiàn)摻雜等優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)有技術(shù)中多采用蒸鍍成膜法形成有機(jī)發(fā)光層等有機(jī)功能膜層，即在真空環(huán)境下，將有機(jī)材料加熱使其蒸發(fā)(升華)，并沉積到目標(biāo)基板上形成對(duì)應(yīng)的功能膜層。

如圖1中所示，為現(xiàn)有技術(shù)中一種蒸鍍?cè)O(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；其主要包括蒸發(fā)源以及與蒸發(fā)源連通的噴射機(jī)構(gòu)；所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽，所述噴射機(jī)構(gòu)用于將輸入的有機(jī)蒸汽噴射到基板11上形成有機(jī)鍍膜；其中，噴射機(jī)構(gòu)主要包括若干個(gè)噴嘴21。

為了保證最終形成在基板上的有機(jī)鍍膜具有均勻的膜厚，上述若干個(gè)噴嘴需要能夠均勻的將有機(jī)蒸汽噴射到基板上。但是，由于各個(gè)噴嘴與蒸發(fā)源的距離不同，因此各噴嘴的有機(jī)蒸汽的實(shí)際供給也有所不同；例如，位于蒸發(fā)源正上方的噴嘴，由于距離蒸發(fā)源最近，蒸發(fā)源提供的大量有機(jī)蒸汽可以直接到達(dá)該噴嘴處，因此有機(jī)蒸汽的實(shí)際供給較為豐富；而位于噴射機(jī)構(gòu)邊緣的噴嘴，由于距離蒸發(fā)源最遠(yuǎn)，蒸發(fā)源提供的有機(jī)蒸汽需要較長(zhǎng)的路徑才可以到達(dá)該噴嘴處，因此只有少量的有機(jī)蒸汽提供給該噴嘴。這樣，為了使所有噴嘴能夠均勻的將有機(jī)蒸汽噴射到基板上，需要根據(jù)噴嘴與蒸發(fā)源的距離調(diào)整噴嘴的大小；例如，位于蒸發(fā)源正上方的噴嘴較小，而位于噴射機(jī)構(gòu)邊緣的噴嘴則較大。然而這樣一方面限制了噴射機(jī)構(gòu)的最大噴射速率，另一方面，由于小噴嘴容易出現(xiàn)堵塞故障，因此增加了噴射機(jī)構(gòu)乃至整個(gè)蒸鍍?cè)O(shè)備的故障率。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明的目的在于針對(duì)背景技術(shù)中的部分或者全部問(wèn)題，提供一種能夠減少噴射機(jī)構(gòu)出現(xiàn)堵塞故障的蒸鍍?cè)O(shè)備，從而提升蒸鍍?cè)O(shè)備的可靠性。

(二)技術(shù)方案

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種蒸鍍?cè)O(shè)備，包括依次設(shè)置的蒸發(fā)源、蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)以及噴射機(jī)構(gòu)；所述蒸發(fā)源用于提供有機(jī)蒸汽；所述蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)用于使所述蒸發(fā)源提供的有機(jī)蒸汽循環(huán)流動(dòng)；所述噴射機(jī)構(gòu)與所述蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)連通，用于將所述蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)中的有機(jī)蒸汽噴射到基板上形成有機(jī)鍍膜。

優(yōu)選的，所述蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)包括閉環(huán)的蒸汽循環(huán)管道以及用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)蒸汽在所述蒸汽循環(huán)管道中循環(huán)流動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。

優(yōu)選的，所述蒸汽循環(huán)管道內(nèi)設(shè)置有氣壓計(jì)。

優(yōu)選的，還包括設(shè)置在所述蒸發(fā)源與蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)之間的蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)；所述蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)用于存儲(chǔ)所述蒸發(fā)源提供的有機(jī)蒸汽并可控的輸入至所述蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)的輸出端設(shè)置有用于控制所述有機(jī)蒸汽輸出流量的流量控制機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述流量控制機(jī)構(gòu)為線性調(diào)節(jié)閥。

優(yōu)選的，還包括用于將所述蒸汽存儲(chǔ)設(shè)備內(nèi)的有機(jī)蒸汽維持在預(yù)定溫度范圍內(nèi)的控溫機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，還包括設(shè)置在所述蒸發(fā)源與蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)之間的蒸汽輸運(yùn)泵。

優(yōu)選的，所述蒸發(fā)源為線性蒸發(fā)源。

優(yōu)選的，所述線性蒸發(fā)源包括蒸發(fā)容器以及線性加熱源。

優(yōu)選的，還包括用于控制所述蒸鍍?cè)O(shè)備整體溫度的加熱以及冷凝機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種利用上述蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行蒸鍍的方法，其特征在于，包括：對(duì)蒸發(fā)源進(jìn)行加熱，從而蒸發(fā)出有機(jī)蒸汽；當(dāng)需要進(jìn)行蒸鍍時(shí)，將所述有機(jī)蒸汽按照指定的流量輸入至蒸汽循環(huán)機(jī)構(gòu)，并使所述有機(jī)蒸汽循環(huán)流動(dòng)；將循環(huán)流動(dòng)的所述有機(jī)蒸汽通過(guò)噴射機(jī)構(gòu)以穩(wěn)定的速率蒸鍍到目標(biāo)基板上。

優(yōu)選的，在所述蒸發(fā)出有機(jī)蒸汽之后且在所述進(jìn)行蒸鍍之前，還包括：將所述有機(jī)蒸汽輸運(yùn)至蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)，直至蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)中的有機(jī)蒸汽壓強(qiáng)達(dá)到預(yù)設(shè)壓強(qiáng)值。

優(yōu)選的，在蒸鍍過(guò)程中還包括：控制蒸汽存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)輸出所述有機(jī)蒸汽的流量，以實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸鍍速率調(diào)整。

優(yōu)選的，在蒸鍍過(guò)程中還包括：使所述目標(biāo)基板保持一定的速度在所述噴射機(jī)構(gòu)上方往復(fù)運(yùn)動(dòng)。