[發明專利]蒸鍍設備及其蒸鍍方法有效

申請號：	201310746560.7	申請日：	2013-12-30
公開（公告）號：	CN103695848A	公開（公告）日：	2014-04-02
發明（設計）人：	趙德江;崔偉;王路	申請（專利權）人：	京東方科技集團股份有限公司
主分類號：	C23C14/24	分類號：	C23C14/24;C23C14/12
代理公司：	北京路浩知識產權代理有限公司 11002	代理人：	李迪
地址：	100015 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	設備及其方法
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及顯示裝置制備技術領域，具體涉及一種蒸鍍設備及其蒸鍍方法。

背景技術

OLED(Organic?Light?Emitting?Diode，有機發光二極管)顯示裝置由于具有自發光、無需背光模組、對比度以及清晰度高、視角寬、全固化、適用于撓曲性面板、溫度特性好、低功耗、響應速度快以及制造成本低等一系列優異特性，已經成為新一代平面顯示裝置的重點發展方向之一，因此日益受到越來越多的關注。

現有技術中，OLED顯示器件的基本結構包括陽極層，功能膜層以及陰極層等；上述功能膜層包括：空穴傳輸層、有機發光層以及電子傳輸層等；其中，有機發光層的成膜方法有很多種，包括蒸鍍成膜法、分子束外延法、有機化學氣相沉積法以及溶膠-凝膠法等；其中，蒸鍍成膜法由于具有操作簡單、膜厚容易控制、對薄膜的污染小以及易于實現摻雜等優點，現有技術中多采用蒸鍍成膜法形成有機發光層等有機功能膜層，即在真空環境下，將有機材料加熱使其蒸發(升華)，并沉積到目標基板上形成對應的功能膜層。

如圖1中所示，為現有技術中一種蒸鍍設備的結構示意圖；其主要包括蒸發源以及與蒸發源連通的噴射機構；所述蒸發源用于提供有機蒸汽，所述噴射機構用于將輸入的有機蒸汽噴射到基板11上形成有機鍍膜；其中，噴射機構主要包括若干個噴嘴21。

為了保證最終形成在基板上的有機鍍膜具有均勻的膜厚，上述若干個噴嘴需要能夠均勻的將有機蒸汽噴射到基板上。但是，由于各個噴嘴與蒸發源的距離不同，因此各噴嘴的有機蒸汽的實際供給也有所不同；例如，位于蒸發源正上方的噴嘴，由于距離蒸發源最近，蒸發源提供的大量有機蒸汽可以直接到達該噴嘴處，因此有機蒸汽的實際供給較為豐富；而位于噴射機構邊緣的噴嘴，由于距離蒸發源最遠，蒸發源提供的有機蒸汽需要較長的路徑才可以到達該噴嘴處，因此只有少量的有機蒸汽提供給該噴嘴。這樣，為了使所有噴嘴能夠均勻的將有機蒸汽噴射到基板上，需要根據噴嘴與蒸發源的距離調整噴嘴的大小；例如，位于蒸發源正上方的噴嘴較小，而位于噴射機構邊緣的噴嘴則較大。然而這樣一方面限制了噴射機構的最大噴射速率，另一方面，由于小噴嘴容易出現堵塞故障，因此增加了噴射機構乃至整個蒸鍍設備的故障率。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明的目的在于針對背景技術中的部分或者全部問題，提供一種能夠減少噴射機構出現堵塞故障的蒸鍍設備，從而提升蒸鍍設備的可靠性。

(二)技術方案

根據本發明的一個方面，提供了一種蒸鍍設備，包括依次設置的蒸發源、蒸汽循環機構以及噴射機構；所述蒸發源用于提供有機蒸汽；所述蒸汽循環機構用于使所述蒸發源提供的有機蒸汽循環流動；所述噴射機構與所述蒸汽循環機構連通，用于將所述蒸汽循環機構中的有機蒸汽噴射到基板上形成有機鍍膜。

優選的，所述蒸汽循環機構包括閉環的蒸汽循環管道以及用于驅動有機蒸汽在所述蒸汽循環管道中循環流動的驅動裝置。

優選的，所述蒸汽循環管道內設置有氣壓計。

優選的，還包括設置在所述蒸發源與蒸汽循環機構之間的蒸汽存儲機構；所述蒸汽存儲機構用于存儲所述蒸發源提供的有機蒸汽并可控的輸入至所述蒸汽循環機構。

優選的，所述蒸汽存儲機構的輸出端設置有用于控制所述有機蒸汽輸出流量的流量控制機構。

優選的，所述流量控制機構為線性調節閥。

優選的，還包括用于將所述蒸汽存儲設備內的有機蒸汽維持在預定溫度范圍內的控溫機構。

優選的，還包括設置在所述蒸發源與蒸汽存儲機構之間的蒸汽輸運泵。