[發明專利]蒸鍍設備及其蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201310746560.7
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103695848A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 趙德江;崔偉;王路
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括依次設置的蒸發源、蒸汽循環機構以及噴射機構；

所述蒸發源用于提供有機蒸汽；

所述蒸汽循環機構用于使所述蒸發源提供的有機蒸汽循環流動；

所述噴射機構與所述蒸汽循環機構連通，用于將所述蒸汽循環機構中的有機蒸汽噴射到基板上形成有機鍍膜。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸汽循環機構包括閉環的蒸汽循環管道以及用于驅動有機蒸汽在所述蒸汽循環管道中循環流動的驅動裝置。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸汽循環管道內設置有氣壓計。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，還包括設置在所述蒸發源與蒸汽循環機構之間的蒸汽存儲機構；

所述蒸汽存儲機構用于存儲所述蒸發源提供的有機蒸汽并可控的輸入至所述蒸汽循環機構。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸汽存儲機構的輸出端設置有用于控制所述有機蒸汽輸出流量的流量控制機構。

6.根據權利要求4所述的蒸鍍設備，其特征在于，還包括用于將所述蒸汽存儲設備內的有機蒸汽維持在預定溫度范圍內的控溫機構。

7.根據權利要求4所述的蒸鍍設備，其特征在于，還包括設置在所述蒸發源與蒸汽存儲機構之間的蒸汽輸運泵。

8.根據權利要求1-3或者5-7任意一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸發源為線性蒸發源。

9.根據權利要求8所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述線性蒸發源包括蒸發容器以及線性加熱源。

10.根據權利要求求1-3、5-7或者9任意一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，還包括用于控制所述蒸鍍設備整體溫度的加熱以及冷凝機構。

11.一種利用權利要求1-10中任意一項所述的蒸鍍設備進行蒸鍍的方法，其特征在于，包括：

對蒸發源進行加熱，從而蒸發出有機蒸汽；

當需要進行蒸鍍時，將所述有機蒸汽按照指定的流量輸入至蒸汽循環機構，并使所述有機蒸汽循環流動；

將循環流動的所述有機蒸汽通過噴射機構以穩定的速率蒸鍍到目標基板上。

12.根據權利要求11所述的方法，在所述蒸發出有機蒸汽之后且在所述進行蒸鍍之前，還包括；

將所述有機蒸汽輸運至蒸汽存儲機構，直至蒸汽存儲機構中的有機蒸汽壓強達到預設壓強值。

13.根據權利要求12所述的方法，在蒸鍍過程中還包括：

控制蒸汽存儲機構輸出所述有機蒸汽的流量，以實現對蒸鍍速率調整。

14.根據權利要求11-13中任意一項所述的方法，在蒸鍍過程中還包括：

使所述目標基板保持一定的速度在所述噴射機構上方往復運動。