[發(fā)明專利]TFT觸摸屏及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310746532.5 | 申請日： | 2013-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN103777813B | 公開（公告）日： | 2017-05-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張迅;張伯倫 | 申請（專利權(quán)）人： | 江西沃格光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G06F3/041 | 分類號： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224 | 代理人： | 吳平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | tft 觸摸屏 及其 制備 方法 | ||
1.一種TFT觸摸屏的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
提供TFT基板；及
采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層，得到所述TFT觸摸屏；
所述感應(yīng)層的材料為銦錫氧化物；
所述TFT基板的表面電阻小于60歐姆/平方；
所述采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層的步驟中，所述TFT基板的溫度為100℃～120℃；
所述TFT基板包括液晶顯示屏和圍繞所述液晶顯示屏的邊框；
所述感應(yīng)層的厚度為90納米～110納米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT觸摸屏的制備方法，其特征在于，在所述采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層的步驟之前，還包括對所述TFT基板進(jìn)行洗滌的步驟，對所述TFT基板進(jìn)行洗滌的步驟包括依次用純水和堿液進(jìn)行洗滌，然后再依次進(jìn)行二流體噴淋、超純水噴淋和高壓噴淋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT觸摸屏的制備方法，其特征在于，所述采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層的步驟中，所述磁控濺射的真空度為2.5×10-1Pa～3.50×10-3Pa。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT觸摸屏的制備方法，其特征在于，所述采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層的步驟中，所述磁控濺射的電壓為300V～350V，功率7500W～9000W。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT觸摸屏的制備方法，其特征在于，所述采用磁控濺射在所述TFT基板上制備感應(yīng)層的步驟中，通入氧氣和氬氣，所述氧氣的流量為12sccm，氬氣的流量為900sccm。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于江西沃格光電股份有限公司，未經(jīng)江西沃格光電股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310746532.5/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種電沉積制備Y3BO6:Eu3+薄膜的方法
- 下一篇：單孔錨板加工工藝
- 同類專利
- 專利分類
G06F 電數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)處理
G06F3-00 用于將所要處理的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)變成為計算機(jī)能夠處理的形式的輸入裝置；用于將數(shù)據(jù)從處理機(jī)傳送到輸出設(shè)備的輸出裝置，例如，接口裝置
G06F3-01 .用于用戶和計算機(jī)之間交互的輸入裝置或輸入和輸出組合裝置
G06F3-05 .在規(guī)定的時間間隔上，利用模擬量取樣的數(shù)字輸入
G06F3-06 .來自記錄載體的數(shù)字輸入，或者到記錄載體上去的數(shù)字輸出
G06F3-09 .到打字機(jī)上去的數(shù)字輸出
G06F3-12 .到打印裝置上去的數(shù)字輸出
