[發(fā)明專利]半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310744720.4
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN104750046A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬平
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 陳振

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及自動(dòng)化控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在自動(dòng)化生產(chǎn)過程中，設(shè)備依據(jù)自動(dòng)化工藝配方(Recipe)的內(nèi)容完成對(duì)物料的加工，即執(zhí)行工藝任務(wù)。其中，工藝配方的內(nèi)容包含加工過程中的多個(gè)步驟以及各個(gè)步驟中各種工藝參數(shù)值和持續(xù)時(shí)間，產(chǎn)品的質(zhì)量可通過調(diào)整工藝配方來改進(jìn)。所以，一個(gè)先進(jìn)的工藝配方對(duì)提升產(chǎn)品質(zhì)量有著非常重要的作用，尤其是在半導(dǎo)體生產(chǎn)業(yè)。工藝配方中數(shù)據(jù)的保存統(tǒng)一采用了XML文件的方式，這樣不僅通用性、規(guī)范性好，而且方便用戶閱讀與理解。

Bosch工藝（博世工藝），是眾多工藝中的一種。Bosch工藝的特殊之處就在于它要求Recipe的多步之間要進(jìn)行循環(huán)。Bosch工藝通常有兩個(gè)重要功能組成：沉積和刻蝕。例如，一個(gè)常見的Bosch工藝包括Step1（步驟1）、Step2（步驟21）、Step3（步驟3）、Step4（步驟4）以及Step5（步驟5），其中，Step1完成沉積功能，Step2和Step3完成不同的刻蝕功能，需要多步循環(huán)50次；Step4完成另一種沉積，setp5完成另一種刻蝕，需要多步循環(huán)60次。工藝循環(huán)的順序?yàn)镾tep1->Step2->Step3循環(huán)50次，Step4->Step5循環(huán)60次。

傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)處理方法，通過采用多個(gè)子配方的形式來實(shí)現(xiàn)工藝配方中的多步循環(huán)的功能。每個(gè)子配方的中所有步的Cycles(times)（循環(huán)次數(shù)）參數(shù)必須相同，如果出現(xiàn)需要Cycles(times)不同的需求，就需要再新建一個(gè)子配方。例如，上述Bosch工藝的例子中，就需要編輯出兩個(gè)子配方，一個(gè)子配方，執(zhí)行Step1->Step2->Step3的循環(huán)，另一個(gè)子配方，執(zhí)行Step4->Step5的循環(huán)。工藝任務(wù)運(yùn)行時(shí)，需要分別導(dǎo)入上述兩個(gè)子配方，邏輯操作比較復(fù)雜。特別是，對(duì)于同時(shí)包括多個(gè)子配方和父配方的工藝，同一個(gè)子配方，可能在多個(gè)父配方處出現(xiàn)，如果修改了子配方，會(huì)對(duì)多處父配方造成影響。所以，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝任務(wù)處理方法，采用多個(gè)子配方的形式來實(shí)現(xiàn)工藝配方中的多步循環(huán)，操作邏輯復(fù)雜，耦合度太高，工藝操作的風(fēng)險(xiǎn)較大。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足，提供一種邏輯操作簡單、耦合度低，安全性高的半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的而提供的半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)處理方法，包括以下步驟：

S100，在半導(dǎo)體制造的工藝配方中設(shè)置循環(huán)執(zhí)行參數(shù)；

S200，根據(jù)半導(dǎo)體制造的工藝任務(wù)和所述循環(huán)執(zhí)行參數(shù)生成所述工藝配方的循環(huán)執(zhí)行數(shù)組；

S300，在判斷所述工藝配方的循環(huán)執(zhí)行數(shù)組符合所述工藝任務(wù)的邏輯要求后，在所述工藝任務(wù)中依次執(zhí)行所述工藝配方的循環(huán)執(zhí)行數(shù)組。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述循環(huán)執(zhí)行參數(shù)為Cycles_status（循環(huán)狀態(tài)）參數(shù)，所述Cycles_status參數(shù)由Single、Begin、Mid和End組成；

其中：Single表示單步循環(huán)，Begin表示一組循環(huán)的開始值，Mid表示一組循環(huán)的中間值，End表示為一組循環(huán)的結(jié)束值；

一個(gè)Single為一組循環(huán)；

或者一個(gè)成對(duì)出現(xiàn)的Begin和End為一組循環(huán)；

或者一個(gè)Begin、若干個(gè)Mid和一個(gè)End組成一組循環(huán)；

所述循環(huán)執(zhí)行數(shù)組由若干組循環(huán)組成。

其中，所述邏輯要求為：Begin和End成對(duì)出現(xiàn)，且同一對(duì)Begin和End之間的循環(huán)次數(shù)相同；或者所述同一對(duì)Begin和End之間存在若干Mid，或者所述同一對(duì)Begin和End之間不存在Single。

其中，所述步驟S300中，在所述工藝任務(wù)中依次執(zhí)行所述工藝配方的循環(huán)執(zhí)行數(shù)組包括以下步驟：

S310，設(shè)置group變量，識(shí)別所述循環(huán)執(zhí)行數(shù)組中的循環(huán)組數(shù)，并將所述循環(huán)組數(shù)的值賦予所述group變量；

S320，設(shè)置索引變量index，按照從小到大的順序，控制所述索引變量index獲取所述循環(huán)執(zhí)行數(shù)組中的各組循環(huán)，并按照各組循環(huán)中的工藝步驟的順序，依次執(zhí)行所述循環(huán)執(zhí)行數(shù)組中的各組循環(huán)。

其中，所述步驟S320包括以下步驟：

S321，設(shè)置索引變量index，令index的初始值為0；

S322，判斷所述索引變量index的值是否小于所述group變量的值；