[發明專利]探針膜厚測量機坐標補正方法及裝置

有效

• 申請號: 201310744288.9
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103743318B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 黃文德;楊朝坤
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司44217
• 代理人: 蔡曉紅

技術領域

本發明涉及膜厚測量技術，更具體地說，涉及一種探針膜厚測量機坐標補正方法及裝置。

背景技術

探針膜厚測量機（Surface Profile/Step Height）是一種機械式接觸量測設備，最核心部件為探針測定機構，在TFT-LCD行業中，一般用來量測TFT或彩色濾色片的膜厚值。因待量測物一般為100μm級別，所以對設備探針的坐標定位精度要求很高需要其達到20μm以內。

而現有的探針膜厚測量機在進行測量前，需要確定兩個坐標：機械坐標位置，即量測頭和探針的位置；另一個坐標為產品坐標位置，即放置在檢測平臺上的待測物體，例如TFT或彩色濾色片的目標位置。要實現準確測量產品坐標位置需要先保證機械坐標位置的正確，否則通過測量頭和探針獲取的測量數據必然存在誤差。

而在實際使用過程中，上述的機械坐標位置很容易發生偏移，例如：編碼器在跳電時易造成數據流失，而失去原坐標的位置，即有可能造成設備機械坐標偏移；對探針進行保養擦拭或更換時，因需要利用手動方式操作，因此會造成探針位置偏移，且無法完全回復至原始位置；量測頭損壞更換后，亦會造成整體量測機構偏移，無法完全回復至原始位置；人為誤操作導致量測頭、探針被撞擊，無法完全回復至原始位置。目前的處理方法為，若發現因為機械坐標偏差導致量測異常，則需人員手動重新調整所有點位的量測坐標，浪費時間和人力，且因人員能力、手法差異，帶來調整偏差的問題。

發明內容

本發明的目的在于，針對現有的探針膜厚測量機的機械坐標位置發生偏移時手動重新調整的工作量大，調整的質量無法保證一致的缺陷，提供一種能夠快速進行、調整準確的探針膜厚測量機坐標補正方法及裝置。

本發明所提供的探針膜厚測量機坐標補正方法，包括以下步驟：

S1、在探針膜厚測量機的基座上固定定位補正片，定位補正片位于產品檢測區域之外；

S2、移動探針至定位補正片，記錄探針位置為第一坐標；

S3、按照第一坐標驅動探針，記錄驅動探針后的位置為第二坐標；

S4、記錄第二坐標相對于定位補正片的偏差值為校正偏移值；

S5、按照校正偏移值補正用于移動探針的坐標，再按照補正后的坐標移動探針。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正方法，其中步驟S1還包括在基座上開設兩個凹槽，所述凹槽位于產品檢測區域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補正片。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正方法，所述定位補正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準星。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正方法，S4還包括當校正偏移值大于設定閾值時，停止探針移動并發出警報。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正方法，其中步驟S2包括移動探針至多個定位補正片上，分別記錄每個定位補正片對應的第一坐標；步驟S4包括記錄每個第二坐標相對定位補正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。

本發明所提供的探針膜厚測量機坐標補正裝置，包括：

固定設置在探針膜厚測量機的基座上的定位補正片，所述定位補正片位于產品檢測區域之外；

與所述探針膜厚測量機連接的第一坐標記錄器，用于在探針移動至定位補正片后，記錄探針位置為第一坐標；

與所述探針膜厚測量機連接的第二坐標記錄器，用于在探針按照第一坐標驅動后，記錄驅動探針后的位置為第二坐標；

與所述探針膜厚測量機連接的校正偏移獲取器，用于記錄第二坐標相對于定位補正片的偏差值為校正偏移值；

按照校正偏移值補正用于移動探針的坐標，再按照補正后的坐標移動探針。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正裝置，基座上開設兩個凹槽，所述凹槽位于產品檢測區域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補正片。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正裝置，所述定位補正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準星。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正裝置，還包括報警器，所述報警器在校正偏移值大于設定閾值時，停止探針移動并發出警報。

本發明的探針膜厚測量機坐標補正裝置，所述基座上包括多個定位補正片，探針移動至每個定位補正片上，第一坐標記錄器分別記錄每個探針對應的第一坐標；第二坐標記錄器記錄探針按照每個第一坐標移動后的位置為第二坐標；校正偏移獲取器記錄每個第二坐標相對定位補正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。