[發明專利]探針膜厚測量機坐標補正方法及裝置

有效

• 申請號: 201310744288.9
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103743318B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 黃文德;楊朝坤
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司44217
• 代理人: 蔡曉紅

1.一種探針膜厚測量機坐標補正方法，其特征在于，

所述補正方法提供三種補正模式：手動補正模式、日常補正模式、制程補正模式；

在所述手動補正模式下，由檢測人員發現探針移動的位置與控制命令發出的坐標位置不一致的時候，可以主動發起檢測流程；

在所述日常補正模式下，需要設定一個補正時間，當設備在該設定的時間內處于空閑狀態時，自動進行補正，若在設定的時間內設備處于工作的狀態，則等待設備到達空閑時再自行進入補正流程；

在所述制程補正模式下，在切換使用新的制程時，選用對應于該進程的對應玻璃基板送入檢測設備上進行檢測和補正；

當上述的三種模式中有任意一種模式被激活后，所述探針膜厚測量機進行坐標補正；

所述補正方法包括以下步驟：

S1、在探針膜厚測量機的基座上固定定位補正片，定位補正片位于產品檢測區域之外；

S2、移動探針至所述定位補正片，記錄探針位置為第一坐標；

S3、按照第一坐標驅動探針，記錄驅動探針后的位置為第二坐標；

S4、記錄第二坐標相對于定位補正片的偏差值為校正偏移值；

S5、按照校正偏移值補正用于移動探針的坐標，再按照補正后的坐標移動探針；

其中，所述步驟S2包括移動探針至多個定位補正片上，分別記錄探針移動到每個定位補正片時的第一坐標；所述步驟S4包括記錄每個第二坐標相對定位補正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值；

其中所述步驟S2還包括當第一坐標的數值超出了設定范圍，停止自動補正，并發出警報；所述步驟S4還包括當校正偏移值大于設定閾值時，停止探針移動并發出警報。

2.根據權利要求1所述的探針膜厚測量機坐標補正方法，其特征在于，所述步驟S1還包括在基座上開設兩個凹槽，所述凹槽位于產品檢測區域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補正片。

3.根據權利要求1所述的探針膜厚測量機坐標補正方法，其特征在于，所述定位補正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準星。

4.一種探針膜厚測量機坐標補正裝置，其特征在于，

所述補正裝置提供三種補正模式：手動補正模式、日常補正模式、制程補正模式；

在所述手動補正模式下，由檢測人員發現探針移動的位置與控制命令發出的坐標位置不一致的時候，可以主動發起檢測流程；

在所述日常補正模式下，需要設定一個補正時間，當設備在該設定的時間內處于空閑狀態時，自動進行補正，若在設定的時間內設備處于工作的狀態，則等待設備到達空閑時再自行進入補正流程；

在所述制程補正模式下，在切換使用新的制程時，選用對應于該進程的對應玻璃基板送入檢測設備上進行檢測和補正；

當上述的三種模式中有任意一種模式被激活后，所述探針膜厚測量機進行坐標補正；

所述補正裝置包括：

固定設置在探針膜厚測量機的基座上的定位補正片，所述定位補正片位于產品檢測區域之外；

與所述探針膜厚測量機連接的第一坐標記錄器，用于在所述探針移動至定位補正片后，記錄探針位置為第一坐標；

與所述探針膜厚測量機連接的第二坐標記錄器，用于在所述探針按照第一坐標驅動后，記錄驅動探針后的位置為第二坐標；

與所述探針膜厚測量機連接的校正偏移獲取器，用于記錄第二坐標相對于定位補正片的偏差值為校正偏移值；

按照校正偏移值補正用于移動探針的坐標，再按照補正后的坐標移動所述探針；

所述基座上包括多個定位補正片，探針移動至每個定位補正片上，第一坐標記錄器分別記錄每個探針對應的第一坐標；第二坐標記錄器記錄探針按照每個第一坐標移動后的位置為第二坐標；校正偏移獲取器記錄每個第二坐標相對定位補正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值；

其中，還包括設置在所述探針膜厚測量機內的報警器，所述報警器在第一坐標超出設定的數值時，停止自動補正，并發出警報；在校正偏移值大于設定閾值時，停止探針移動并發出警報。

5.根據權利要求4所述的探針膜厚測量機坐標補正裝置，其特征在于，所述基座上開設兩個凹槽，所述凹槽位于產品檢測區域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補正片。

6.根據權利要求4所述的探針膜厚測量機坐標補正裝置，其特征在于，所述定位補正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準星。