[發明專利]平板顯示用顯影液組合物

有效

• 申請號: 201310744140.5
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103728845A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 梁曉;唐洪;田博
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

技術領域

本發明屬于平板顯示領域，涉及一種平板顯示用顯影液組合物。

背景技術

在平板顯示的工藝中，為獲得所需要的布線圖案，需要利用光阻劑涂布在基板上形成薄膜之后以光罩遮擋并進行曝光，再以堿性顯影液顯像，除去未曝光的部分，從而獲得所需要的布線圖案。

常用的光阻劑為堿可溶性樹脂，如酚醛樹脂、亞克力樹脂及聚對羥基苯乙烯等，通常利用紫外光進行照射后改變高分子樹脂的分子結構及其在堿類物質中的溶解度，從而能夠溶解于堿性顯影液中。

隨著人們對于顯示效果的不斷提高，為達到更好的色彩表示及更高的精細度，目前工藝上多采用COA（ColorFilter?On?Array）制程，即在同一基板上將彩色濾光層在薄膜電晶體管上結合。目前市面上一般的顯影液有一下不足：

1，泡沫。目前主流的噴淋（SPRAY）顯影工藝中，通過噴頭將顯影液充分噴射到曝光后的光阻上進行顯影，顯影液很容易起泡；另外光阻顯影時，當空氣進入時會產生微小氣泡，形成泡沫。泡沫的殘留會阻擋顯影液與光阻的接觸，導致未曝光光阻出去不充分，顯影效果差，從而影響布線的完整性和精細度（日本特開平10-010749號公報）。為了抑制泡沫帶來的副作用，向顯影液中添加消泡劑是常見手段，但是有的消泡劑隨著顯影液在使用過程中不斷的溶解或分散抗蝕劑，消泡效果難以持久（日本特開平10-293964號公報）。

2，金屬離子殘留。堿性顯影液中所使用的堿性化合物中如果包含金屬離子，在后續的清洗環節要是有少許殘留，就會對面板封裝后光電特性產生不良影響，傳統使用以氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、磷酸鈉、磷酸二氫鈉、醋酸鈉等無機堿性化合物為水溶液的顯影液都存在以上問題（日本特開平11-249322號公報）。所以，以四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨或烷基醇胺等有機堿性化合物的水溶液作為顯影液。

3，膜渣。隨著曝光技術及刻蝕精度的不斷發展，對新型顯影液的要求也越來越高。因為在顯影的過程中發現，當光阻劑在涂膜、預烘和曝光后，其涂膜未曝光的部分含有酸性官能團，這些酸性官能團在堿性顯影液中，與堿反應形成能夠溶解在水中的水溶性有機聚合物鹽。當所溶解的這些有機聚合物鹽在顯影過程中不斷積累時，隨著濃度的不斷增加，顯影的速度開始不斷降低，并且顯影槽中的不溶性有機物開始出現，最后形成不溶水的膜渣。膜渣會不斷的堆積并附著，直接影響顯影效果，造成顯影后難以得到精確的布線圖案（日本特開平02-166452號公報）。有方案提出添加常見的非離子表面活性劑的方法（美國專利US7150960）。這些方法的出現，在很大程度上解決了顯影過程中殘渣的現象，具有改善顯示圖像品質的功效。但由于表面活性劑在堿溶液尤其是無機堿溶液中的溶解度存在一定限制，堿性顯影液在運輸和儲存過程中，因為溫度的變化產生白濁及分層現象，導致顯影液的穩定性降低，影響正常使用。

發明內容

本發明的目的是提供一種平板顯示用顯影液組合物。

本發明提供的一種顯影液組合物，包括如下各組分：

式I所示有機胺類化合物、式II所示非離子表面活性劑、有機溶劑和水；

所述式I中，R₁、R₂和R₃均選自-H、-OH和-R-OH中的任意一種；且R₁、R₂和R₃中至少一個為-R-OH；

所述-R-OH中，R選自-CH₂-、-C₂H₄-和-C₃H₆-中的任意一種

所述式II中，R₄和R₅均選自-CH₂-、-C₂H₄-和-C₃H₆-中的任意一種；

R₆選自氫、-CH₃、-C₂H₅和-C₃H₇中的任意一種；

m為5～18的整數。

上述顯影液組合物也可只由上述組分組成。

所述式I所示化合物具體可選自乙醇胺、二乙醇胺、甲基二乙醇胺、二異丙胺和三乙醇胺的至少一種；優選乙醇胺和二乙醇胺中的至少一種。