[發明專利]平板顯示用顯影液組合物

有效

• 申請號: 201310744140.5
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103728845A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 梁曉;唐洪;田博
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

1.一種顯影液組合物，包括如下各組分：

式I所示有機胺類化合物、式II所示非離子表面活性劑、有機溶劑和水；

所述式I中，R₁、R₂和R₃均選自-H、-OH和-R-OH中的任意一種；且R₁、R₂和R₃中至少一個為-R-OH；

所述-R-OH中，R選自-CH₂-、-C₂H₄-和-C₃H₆-中的任意一種；

所述式II中，R₄和R₅均選自-CH₂-、-C₂H₄-和-C₃H₆-中的任意一種；

R₆選自氫、-CH₃、-C₂H₅和-C₃H₇中的任意一種；

m為5～18的整數。

2.根據權利要求1所述的組合物，其特征在于：所述顯影液組合物由所述式I所示有機胺類化合物、式II所示非離子表面活性劑、有機溶劑和水組成。

3.根據權利要求1或2所述的組合物，其特征在于：所述式I所示化合物選自乙醇胺、二乙醇胺、甲基二乙醇胺、二異丙胺和三乙醇胺的至少一種；優選乙醇胺和二乙醇胺中的至少一種；

所述式II中，R₄和R₅均選自-CH₂-、-C₂H₄-和-C₃H₆-中的任意一種；

R₆選自氫、-CH₃、-C₂H₅和-C₃H₇中的任意一種；

m為5-15的整數，具體為5-10的整數；

所述式II所示非離子表面活性劑具體為如下B1251、B1291、B1272、B0251、B0273或B3251所示化合物；

4.根據權利要求1-3任一所述的組合物，其特征在于：所述有機溶劑選自二甲基亞砜、N-甲基吡咯烷酮、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇二甲醚和二乙二醇丁醚中的任意一種或任意兩種。

5.根據權利要求1-4任一所述的組合物，其特征在于：所述水為去離子水，所述水中的總金屬離子濃度不大于500納克/升，具體為不大于50納克/升。

6.根據權利要求1-5任一所述的組合物，其特征在于：所述顯影液組合物為由如下各質量百分含量的組分組成：

式I所示有機胺類化合物：0.1-3%；

式II所示非離子表面活性劑：0.1-10%；

有機溶劑：1-20%；

余量為水。

7.根據權利要求6所述的組合物，其特征在于：所述顯影液組合物為由如下各質量百分含量的組分組成：

式I所示有機胺類化合物：0.5-1.5%；

式II所示非離子表面活性劑：0.5-5%；

有機溶劑：2-10%；

余量為水。

8.一種制備權利要求1-7任一所述顯影液組合物的方法，包括如下步驟：將權利要求1-7任一所述各組分于20-30℃混勻，得到所述顯影液組合物。

9.權利要求1-7任一所述顯影液組合物在感光性樹脂的顯影方法中的應用。

10.根據權利要求9所述的應用，其特征在于：所述感光性樹脂選自熱塑性酚醛樹脂、丙烯酸樹脂、順丁烯二酐的樹脂聚合物、順丁烯二酐半酯的樹脂聚合物和聚羥基苯乙烯中的任意一種；具體為丙烯酸樹脂，更具體為下述共聚物a-共聚物f中的任意一種：

所述共聚物a為甲基丙烯酸甲酯與羥基苯、苯乙烯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物b為甲基丙烯酸甲酯與苯乙烯和丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物c為甲基丙烯酸甲酯與苯乙烯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物d為甲基丙烯酸甲酯與甲基丙烯酸苯甲酯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物e為甲基丙烯酸苯甲酯與甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物f為甲基丙烯酸與甲基丙烯酸苯甲酯和2-羥乙基丙烯酸甲酯共聚而得的共聚物；所述共聚物a-共聚物f的重均分子量為5000～200000，優選8000～60000。