[發明專利]基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法

在審

• 申請號: 201310742871.6
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103708204A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 周穎
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G43/00
• 分類號: B65G43/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及半導體集成電路物料輸送機臺技術領域，尤其涉及一種基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現有的AMHS系統均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間（tool?to?tool輸送模式），或往返于機臺與暫存區Stocker之間（走道間系統interbay與走道內系統intrabay）。如圖1所示的采用走道間、走道內的輸送系統，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有硅片盒堆疊部20（load?port），OHT輸送車70（overhead?hoist?transport）能抓起堆疊部20上的硅片盒30，并通過軌道結構60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內的輸送過程稱為走道內系統110，而硅片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統100。走道內系統110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至暫存區50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。

一般而言，一個AMHS系統中有多輛輸送車同時運行執行任務，如何根據軌道的實時交通情況，選擇最合適的輸送車來執行搬送任務是困擾技術人員的難題之一。

發明內容

本發明的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法。

為實現上述目的，本發明提供一種基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法，其包括以下步驟：

步驟S01，獲取目標機臺方位；

步驟S02，根據當前軌道交通情況，計算得到當前離目標機臺行駛距離最近的1至5輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務輸送車；

步驟S03，若存在，則向該無任務輸送車發出指令前往該目標機臺執行任務；若不存在，則根據當前軌道交通情況，計算得到當前任務目標離該目標機臺最近的輸送車，并發出指令在完成當前任務后前往該目標機臺執行任務；

步驟S04，收到指令的輸送車到達目標機臺。

進一步地，步驟S03中，若存在無任務輸送車，則向該無任務輸送車之一或距離該目標機臺最近的無任務輸送車發出指令前往該目標機臺執行任務。

本發明的基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法，首先尋找距離目標機臺最近的無任務輸送車，若沒有，接著尋找任務目標距離目標機臺最近的輸送車，通過兩步法選擇最合適的輸送車來執行任務，提高了搬送效率。

附圖說明

為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中：

圖1本發明輸送車行駛控制方法第一實施例的流程示意圖。

具體實施方式

第一實施例

請參閱圖1，本實施例中的基于AMHS系統的輸送車行駛控制方法，包括以下步驟：

步驟S01，獲取目標機臺方位；

步驟S02，根據當前軌道交通情況，計算得到當前離目標機臺行駛距離最近的3輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務輸送車；

步驟S031，若存在，則向距離該目標機臺最近的無任務輸送車發出指令前往該目標機臺執行任務；

步驟S032若不存在，則根據當前軌道交通情況，計算得到當前任務目標離該目標機臺最近的輸送車，并發出指令在完成當前任務后前往該目標機臺執行任務；

步驟S04，收到指令的輸送車到達目標機臺。

其中，步驟S03中所述當前任務目標離該目標機臺最近的輸送車是指，當前有搬送任務，而該搬送任務的目標機臺距離步驟S01中的目標機臺最近。

在其他實施例中，步驟S02中可以根據實際系統的需要和輸送車數量，調整選取輸送車的數量；步驟S03中也不一定要選擇距離最近的那輛無任務輸送車。