[發明專利]一種基板真空干燥裝置和基板真空干燥方法

無效

• 申請號: 201310741663.4
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103707451A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 謝明哲;謝春燕;劉陸
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B29C41/34
• 分類號: B29C41/34;B29C41/46
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及柔性基板的制造領域，尤其涉及一種基板真空干燥裝置和基板真空干燥方法。

背景技術

柔性基板（Flexible?Substrate）具有機械柔韌性和高密度互連的特點，因此現在采用柔性基板來實現顯示元件的也越來越多。

柔性基板的生產工藝可簡單分為背膠粘貼和涂膜干燥兩大類。在涂膜干燥工藝中，是以玻璃板或金屬板作為載具,在玻璃板或金屬板上面涂上聚合體（polymer）涂膜，如聚酰亞胺（polyimide）涂膜或聚乙烯(polyethylene)涂膜；使涂膜干燥后形成柔性基板。使涂膜干燥通常采用真空干燥和烘箱干燥結合，即把涂覆聚合體涂膜的玻璃板或金屬板放入真空干燥箱中，進行真空減壓，達到聚合體溶液的溶劑蒸氣壓使溶劑揮發，從而不會在后續的工藝上產生氣泡，然后再送入烘箱中進行烘箱干燥，在進行烘箱干燥時輸入氮氣置殘留的空氣以避免聚合體涂膜在高溫環境下氧化；采用上述一系列工藝使聚合體涂膜完全干燥形成柔性基板。

但是在上述的涂膜干燥工藝中，存在以下問題：

由于在真空干燥工藝中，聚合體涂膜仍然是未完全干燥的，因此，在烘箱干燥過程中置入氮氣時，聚合體涂膜表面會由于置入氮氣所產生的氣流的作用產生風紋，所形成的柔性基板的表面不平整，將影響后在柔性基板上進行陣列工藝。

發明內容

本發明的目的是提供一種基板真空干燥裝置和基板真空干燥方法，以提高真空干燥的性能，減小基板在后續的干燥工藝所受氣流的影響。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：

本發明實施例提供一種基板真空干燥裝置，包括：腔體、供氣部、排氣部和加熱部，所述腔體設置有至少一進氣口和至少一個排氣口；

所述腔體用于容置基板；

所述供氣部通過第一傳輸通道與所述腔體的所述進氣口連接，向所述腔體內供給干燥氣體；

所述排氣部通過第二傳輸通道與所述腔體的所述排氣口連接，用于抽出所述腔體內的氣體，使所述腔體內形成真空；

所述加熱部設置于所述腔體內，用于加熱所述基板。

本實施例中，真空干燥腔體內設置加熱部，在真空干燥腔體內形成真空時對基板進行加熱，以避免真空干燥腔體恢復常壓時氣流對基板表面的影響,提高真空干燥的性能。

優選的，還包括：第一控制閥，設置于所述第一傳輸通道上；

第二控制閥，設置于所述第二傳輸通道上；

控制部，所述控制部與所述第一控制閥和第二控制閥連接；所述控制部用于控制所述第一控制閥的通斷，以控制向所述腔體內供給干燥氣體的量或供給時間；還用于控制所述第二控制閥的通斷，以控制抽出所述腔體內的氣體時的量或時間。本實施例中，通過控制部和控制閥控制氣體傳輸量及時間，提高效率和準確度。

優選的，所述加熱部上設置有支撐部，所述支撐部用于放置所述基板。本實施例中，設置支撐部以支撐基板，從而使基板與加熱部之間具有一定距離的空間，從而保證基板不會被加熱部的高溫損壞并提高基板的散熱效率。

優選的，所述供氣部為供氣泵。

優選的，所述排氣部為排氣泵。

優選的，所述加熱部為加熱托盤。

優選的，所述控制部為計算機、可編程邏輯控制器或嵌入式系統。

本發明實施例有益效果如下：該真空干燥裝置通過在真空干燥腔體內設置加熱盤，避免真空干燥腔體恢復常壓時及后續在烘箱干燥步驟中烘箱通入氮氣時氣流對基板表面的影響,提高真空干燥的性能。

本發明實施例提供一種基板真空干燥的方法，步驟如下：

將基板放置于所述腔體內；

令所述供氣部通過所述第二傳輸通道將所述腔體內的氣體抽出，使所述腔體內形成真空；

利用所述加熱部加熱所述基板；

令所述供氣部通過所述第一傳輸通道向所述腔體內供給干燥氣體，使所述腔體內恢復常壓。

本發明實施例有益效果如下：該真空干燥裝置通過在真空干燥腔體內設置加熱盤，避免真空干燥腔體恢復常壓時及后續在烘箱干燥步驟中烘箱通入氮氣時氣流對基板表面的影響,提高真空干燥的性能。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的基板真空干燥裝置的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的基板真空干燥方法的流程圖。

具體實施方式