[發明專利]濺射法制備柔性太陽能電池CIGS吸收層和緩沖層的方法有效
| 申請號： | 201310740650.5 | 申請日： | 2013-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN103695851A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 陳進中;莫經耀;吳伯增;林東東;甘振英 | 申請（專利權）人： | 柳州百韌特先進材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 廣州凱東知識產權代理有限公司 44259 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 545006 廣西壯族自治區*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 法制 柔性 太陽能電池 cigs 吸收 緩沖 方法 | ||
【權利要求書】：
1.濺射法制備柔性太陽能電池CIGS吸收層和緩沖層的方法,其包括以下步驟：
（1）制備吸收層靶材和緩沖層靶材；
（2）將上述兩靶材和對應的濺射源置于加熱的真空室內；
（3）在兩靶材下側設置工作臺，含有鉬電極層的基板可沿工作臺移動；
（4）基板沿工作臺正向移動時，濺射源由上向下轟擊吸收層靶材，使鉬電極層上沉積吸收層；
（5）吸收層沉積完成后，基板沿工作臺反向移動，濺射源由上向下轟擊緩沖層靶材，使吸收層上沉積緩沖層。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述吸收層靶材和緩沖層靶材設置于同一個旋轉體上，旋轉體內設有濺射源，通過轉動旋轉體切換吸收層靶材和緩沖層靶材。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于：所述吸收層靶材由CIGS粉末壓制而成。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于：將CuCl2、InCl3、GaCl3、Na2Se加入乙二胺中反應合成CIGS粉末。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于柳州百韌特先進材料有限公司，未經柳州百韌特先進材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310740650.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種限位裝置
- 下一篇：一種用于煤層瓦斯壓力測定的四通連接器
- 同類專利
- 專利分類
