[發明專利]感光性聚硅氧烷組成物、保護膜及具有保護膜的元件

有效

• 申請號: 201310731751.6
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103885294B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 吳明儒;施俊安
• 申請（專利權）人: 奇美實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G02B1/04
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 馬雯雯,臧建明

技術領域

本發明涉及一種感光性聚硅氧烷組成物，特別是指一種包含聚硅氧烷高分子及每分子具有至少含有六個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物的正型感光性聚硅氧烷組成物、由此感光性聚硅氧烷組成物所形成的保護膜，及具有該保護膜的元件。

背景技術

近年來，在半導體工業、液晶顯示器或有機電激發光顯示器等領域中，隨著尺寸的日益縮小化，對于光刻制程中所需的圖案的微細化更甚要求。為了達到微細化的圖案，一般是通過具有高解析及高感度的正型感光性材料經曝光及顯影后而形成，其中，以聚硅氧烷高分子為成分的正型感光性材料逐漸成為業界使用的主流。

日本特開2008-107529號公開一種形成硬化膜用的感光性樹脂組成物。該組成物包含聚硅氧烷高分子、鄰萘醌二疊氮磺酸酯及溶劑。其中，該聚硅氧烷高分子的特征是含環氧丙烷基或丁二酸酐基，其制法是由含環氧丙烷基(oxetanyl)或丁二酸酐基的硅氧烷單體經加水分解且部分縮合所獲得。該聚硅氧烷于共聚合時會經開環反應形成親水性的結構，并在稀薄堿性顯影液中具有高溶解性，然而，該感光性樹脂組成物的感度不佳，難以令業界接受。

由上述可知，目前仍有需要發展出一種正型感光性聚硅氧烷組成物，且由該組成物所形成的保護膜具有良好感度，以滿足業界的需求。

發明內容

首先要說明的是，在本文中，該(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸；(甲基)丙烯酰[(meth)acryloyl]表示丙烯酰(acryloyl)和/或甲基丙烯酰(methacryloyl)；(甲基)丙烯酸酯[(meth)acrylate]表示丙烯酸酯(acrylate)和/或甲基丙烯酸酯(methacrylate)。

本發明的第一目的，在于提供一種具有高感度的感光性聚硅氧烷組成物。

于是，本發明感光性聚硅氧烷組成物，包含聚硅氧烷高分子(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)、每分子具有至少含有六個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)，及溶劑(D)。

本發明感光性聚硅氧烷組成物，所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有七個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

本發明感光性聚硅氧烷組成物，所述氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有八個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

本發明感光性聚硅氧烷組成物，基于所述聚硅氧烷高分子(A)的總量為100重量份，所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的含量為1至50重量份、所述每分子具有至少含有六個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含量為0.1至35重量份，及所述溶劑(D)的含量為50至1200重量份。

本發明感光性聚硅氧烷組成物，所述聚硅氧烷高分子(A)，是由具有式(I)的硅烷單體經加水分解及部分縮合而得的共聚物；

Si(R^a)_t(OR^b)_4-t (I)

其中，t為0至3的整數，且當t表示2或3時，多個R^a各自為相同或不同；

R^a表示氫、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基、C₆至C₁₅的芳香基、經酸酐基取代的C₁至C₁₀烷基、經環氧基取代的C₁至C₁₀烷基，或經環氧基取代的烷氧基；

R^b表示氫、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基，或C₆至C₁₅的芳香基，且當4-t表示2或3時，多個R^b各自為相同或不同。

本發明的第二目的，在于提供一種感度良好的保護膜。

于是，本發明保護膜，是將如前所述的感光性樹脂組成物涂布于基材上，再經預烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成。

本發明的第三目的，在于提供一種具有保護膜的元件。

本發明具有保護膜的元件，包含基材以及形成于該基材上的如上所述的保護膜。