[發(fā)明專利]感光性聚硅氧烷組成物、保護(hù)膜及具有保護(hù)膜的元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310731751.6
• 申請(qǐng)日: 2013-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103885294B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳明儒;施俊安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奇美實(shí)業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/075
• 分類號(hào): G03F7/075;G02B1/04
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205
• 代理人: 馬雯雯,臧建明

1.一種感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述感光性聚硅氧烷組成物包含：

聚硅氧烷高分子(A)；

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)；

每分子具有含有六個(gè)至十五個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)；及

溶劑(D)，

其中基于所述聚硅氧烷高分子(A)的總量為100重量份，所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的含量為1至50重量份、所述每分子具有含有六個(gè)至十五個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含量為0.1至35重量份，及所述溶劑(D)的含量為50至1200重量份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述每分子具有含有六個(gè)至十五個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有七個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述每分子具有含有六個(gè)至十五個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有八個(gè)(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述聚硅氧烷高分子(A)，是由具有式(I)的硅烷單體經(jīng)加水分解及部分縮合而得的共聚物；

Si(R^a)_t(OR^b)_4-t (I)

其中，t為0至3的整數(shù)，且當(dāng)t表示2或3時(shí)，多個(gè)R^a各自為相同或不同；

R^a表示氫、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基、C₆至C₁₅的芳香基、經(jīng)酸酐基取代的C₁至C₁₀烷基、經(jīng)環(huán)氧基取代的C₁至C₁₀烷基，或經(jīng)環(huán)氧基取代的烷氧基；

R^b表示氫、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基，或C₆至C₁₅的芳香基，且當(dāng)4-t表示2或3時(shí)，多個(gè)R^b各自為相同或不同。

5.一種保護(hù)膜，是將根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性聚硅氧烷組成物涂布于基材上，再經(jīng)預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成。

6.一種具有保護(hù)膜的元件，其包含基材以及根據(jù)權(quán)利要求5所述的保護(hù)膜。