[發明專利]感光性聚硅氧烷組成物、保護膜及具有保護膜的元件有效
| 申請號： | 201310731751.6 | 申請日： | 2013-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN103885294B | 公開（公告）日： | 2017-07-14 |
| 發明（設計）人： | 吳明儒;施俊安 | 申請（專利權）人： | 奇美實業股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/075 | 分類號： | G03F7/075;G02B1/04 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205 | 代理人： | 馬雯雯,臧建明 |
| 地址： | 中國臺灣臺南市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 聚硅氧烷 組成 保護膜 具有 元件 | ||
1.一種感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述感光性聚硅氧烷組成物包含：
聚硅氧烷高分子(A)；
鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)；
每分子具有含有六個至十五個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)；及
溶劑(D)，
其中基于所述聚硅氧烷高分子(A)的總量為100重量份，所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的含量為1至50重量份、所述每分子具有含有六個至十五個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含量為0.1至35重量份，及所述溶劑(D)的含量為50至1200重量份。
2.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述每分子具有含有六個至十五個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有七個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
3.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述每分子具有含有六個至十五個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)是每分子具有至少含有八個(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
4.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物，其特征在于，所述聚硅氧烷高分子(A)，是由具有式(I)的硅烷單體經加水分解及部分縮合而得的共聚物；
Si(Ra)t(ORb)4-t (I)
其中，t為0至3的整數，且當t表示2或3時，多個Ra各自為相同或不同；
Ra表示氫、C1至C10的烷基、C2至C10的烯基、C6至C15的芳香基、經酸酐基取代的C1至C10烷基、經環氧基取代的C1至C10烷基，或經環氧基取代的烷氧基；
Rb表示氫、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基，或C6至C15的芳香基，且當4-t表示2或3時，多個Rb各自為相同或不同。
5.一種保護膜，是將根據權利要求1至4中任一項所述的感光性聚硅氧烷組成物涂布于基材上，再經預烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成。
6.一種具有保護膜的元件，其包含基材以及根據權利要求5所述的保護膜。
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