[發明專利]負壓生成裝置

在審

• 申請號: 201310718850.0
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN103894924A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 石黑裕隆;藤田敦史
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/27;B24B57/00;F04C19/00;B23Q11/00;B01D35/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;金玲

技術領域

本發明涉及與對半導體晶片等被加工物進行磨削的磨削裝置或對被加工物進行切削的切削裝置等連接的負壓生成裝置。

背景技術

對半導體晶片等被加工物進行磨削的磨削裝置或對被加工物進行切削的切削裝置等加工裝置具有吸引保持被加工物的卡盤臺。該卡盤臺與使吸引力作用到保持的被加工物的真空生成機構連接。該真空生成機構存在采用了利用從噴嘴朝向擴散室噴射壓縮空氣的噴射器的負壓生成構件的情況；以及采用了利用水密封式真空泵的負壓生成構件的情況，所述水密封式真空泵在不與偏心配設于外殼的葉輪接觸的狀態下使該葉輪工作。此外，在需要高吸引力、且從卡盤臺吸引較多液體的情況下，將水密封式真空泵連接到加工裝置（例如參照專利文獻1）。

【專利文獻1】日本特開2008-78424號公報

水密封式真空泵為了需要適當從外部追加水，以補充密封水的蒸發量等。此外，在使用水密封式真空泵作為加工裝置的卡盤臺的真空生成機構的情況下，混入有磨削屑或切削屑等加工屑的加工液從卡盤臺流入到水密封式真空泵內，因此通過長時間的使用而積存較多的加工屑，且加工屑附著到水密封式真空泵的內部，從而可能無法進行水密封式真空泵的正常動作，因此從外部追加的水需要是潔凈的液體。

發明內容

本發明就是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制從外部追加到水密封式真空泵的水的負壓生成裝置。

為了解決上述問題，并實現目的，本發明的負壓生成裝置對加工裝置的卡盤臺賦予吸引力，所述加工裝置具有卡盤臺和加工構件，在該卡盤臺上保持被加工物，該加工構件在將加工液提供給保持在卡盤臺上的被加工物的同時對被加工物進行磨削或切削，該負壓生成裝置的特征在于具有：水密封式真空泵，其具有吸引口、排出口和水供給口；吸引路徑，其將吸引口和卡盤臺連通，通過卡盤臺吸引空氣和加工液，該加工液包含由于加工而從被加工物產生的加工屑；排水箱，其經由排出路徑與排出口連通，儲存從排出口排出的水密封式真空泵的密封水和吸引出的加工液混合而成的混合液；供給路徑，其與排水箱以及水供給口連通，將儲存在排水箱中的混合液作為密封水提供到水密封式真空泵；加工屑去除構件，其經由送出路徑與排水箱連通，去除從排水箱送出的混合液所包含的加工屑；以及返回路徑，其將從加工屑去除構件排出的去除加工屑后的處理水返回到排水箱。

根據本發明的負壓生成裝置，起到如下效果：將由加工屑去除構件去除從加工裝置卡盤臺吸引出的加工液中的加工屑后的處理水返回到排水箱，并將該排水箱內的混合液作為水密封式真空泵的密封水進行提供，由此能夠對從卡盤臺吸引出的加工液進行循環利用，能夠抑制從外部追加到水密封式真空泵的水的量。

附圖說明

圖1是示出實施方式的負壓生成裝置的概略結構例的圖。

圖2是示出實施方式的負壓生成裝置的起始處理的概略流程。

圖3是示出實施方式的負壓生成裝置的加工屑去除構件的維護處理的概略流程。

標號說明

1：負壓生成裝置；10：水密封式真空泵；11：吸引口；12：排出口；13：水供給口；16：排出路徑；20：吸引路徑；30：排水箱；40：供給路徑；50：加工屑去除構件；51：送出路徑；60：返回路徑；100：加工裝置；101：加工構件；102：卡盤臺；L：加工液；L2、L4：混合液；L3：處理水；W：被加工物。

具體實施方式

參照附圖對用于實施本發明的方式（實施方式）進行詳細地說明。本發明不限于以下實施方式所記載的內容。而且，在以下記載的結構要素中包含本領域技術人員能夠容易地想到的要素和實質上相同的要素。并且，可以將以下記載的結構要素適當地組合。而且，在不脫離本發明的主旨的范圍內，可以進行結構的各種省略、置換或變更。

[實施方式]

圖1是示出實施方式的負壓生成裝置的概略結構例的圖。圖1所示的實施方式的負壓生成裝置1是吸引源，在對被加工物W實施磨削加工或切削加工的加工裝置100中，所述負壓生成裝置1對加工構件101的卡盤臺102賦予吸引保持被加工物W的吸引力。負壓生成裝置1構成為包含水密封式真空泵10、吸引路徑20、排水箱30、供給路徑40、加工屑去除構件50、返回路徑60、進水構件70、排水構件80和控制構件90。