[發(fā)明專利]負壓生成裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310718850.0 | 申請日： | 2013-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN103894924A | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 石黑裕隆;藤田敦史 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;B24B37/27;B24B57/00;F04C19/00;B23Q11/00;B01D35/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 生成 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種負壓生成裝置，其對加工裝置的卡盤臺賦予吸引力，該加工裝置具有所述卡盤臺和加工構(gòu)件，在所述卡盤臺上保持被加工物，該加工構(gòu)件在將加工液提供給保持在所述卡盤臺上的所述被加工物的同時對所述被加工物進行磨削或切削，
該負壓生成裝置具有：
水密封式真空泵，其具有吸引口、排出口和水供給口；
吸引路徑，其將所述吸引口和所述卡盤臺連通，通過所述卡盤臺吸引空氣和包含由于加工而從所述被加工物產(chǎn)生的加工屑的所述加工液；
排水箱，其經(jīng)由排出路徑而與所述排出口連通，儲存從所述排出口排出的所述水密封式真空泵的密封水和吸引出的所述加工液混合而成的混合液；
供給路徑，其與所述排水箱以及所述水供給口連通，將儲存在所述排水箱中的所述混合液作為密封水提供給所述水密封式真空泵；
加工屑去除構(gòu)件，其經(jīng)由送出路徑而與所述排水箱連通，去除從所述排水箱送出的所述混合液所包含的所述加工屑；以及
返回路徑，其將從所述加工屑去除構(gòu)件排出的去除了所述加工屑的處理水返回給所述排水箱。
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