[發(fā)明專利]沉積源以及具有其的沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310718402.0
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN104131253B
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙炫來;奇錫
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強(qiáng);韓芳

提供了一種沉積源。所述沉積源包括：坩堝，容納沉積材料并使沉積材料蒸發(fā)；網(wǎng)格構(gòu)件，設(shè)置在坩堝中并與沉積材料分隔開預(yù)定的距離，網(wǎng)格構(gòu)件包括通過網(wǎng)格構(gòu)件形成的多個開口；格子構(gòu)件，在坩堝中設(shè)置在網(wǎng)格構(gòu)件上以將網(wǎng)格構(gòu)件劃分成多個格子區(qū)域；多個熱球，設(shè)置在網(wǎng)格構(gòu)件上并填充格子區(qū)域；以及蓋，設(shè)置在坩堝上以覆蓋坩堝，蓋包括噴射孔以噴射蒸發(fā)的沉積材料。還提供了一種沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備包括：真空室，真空室包圍沉積源；基底；以及基底支撐件。

本申請參考先前于2013年5月2日提交到韓國知識產(chǎn)權(quán)局并適時地被指定序號為10-2013-0049517的針對“DEPOSITION SOURCE AND DEPOSITION APPARATUS HAVING THESAME(沉積源以及具有其的沉積設(shè)備)”的申請、將該申請包含于此并且要求該申請的所有權(quán)益。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及一種沉積源和一種具有沉積源的沉積設(shè)備。

背景技術(shù)

近年來，由于有機(jī)發(fā)光顯示器具有優(yōu)異的亮度和視角，并且不需要包括單獨(dú)的光源，而液晶顯示器需要背光，因此有機(jī)發(fā)光顯示器作為下一代顯示裝置受到關(guān)注。因此，有機(jī)發(fā)光顯示器具有纖薄和重量輕的優(yōu)點(diǎn)。另外，有機(jī)發(fā)光顯示器具有例如響應(yīng)速度快、功耗低、亮度高等其他有利的性質(zhì)。

通常，有機(jī)發(fā)光顯示器包括具有陽極、有機(jī)發(fā)光層和陰極的有機(jī)發(fā)光裝置。空穴和電子分別通過陽極和陰極注入到有機(jī)發(fā)光層中，并且在有機(jī)發(fā)光層中復(fù)合以產(chǎn)生激子(電子-空穴對)。激子以光的形式放出能量，其中，光是在激子從激發(fā)態(tài)返回到基態(tài)時而釋放的。

陽極和陰極通常由薄金屬層或薄透明導(dǎo)電層形成。有機(jī)發(fā)光層由至少一個有機(jī)薄層形成。為了在有機(jī)發(fā)光顯示器上形成有機(jī)薄層和金屬薄層，使用沉積設(shè)備。沉積設(shè)備包括填充有沉積材料的坩堝和用于噴射沉積材料的噴嘴。當(dāng)將坩堝加熱至預(yù)定的溫度時，坩堝中的沉積材料蒸發(fā)，通過噴嘴噴射蒸發(fā)的沉積材料。在基底上通過噴嘴噴射沉積材料，由此形成薄膜層。

發(fā)明內(nèi)容

本公開提供了一種能夠在基底上均勻地沉積薄層的沉積源。

本公開還提供了一種包括該沉積源的沉積設(shè)備。

發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了一種沉積源，所述沉積源包括：坩堝，容納沉積材料并使沉積材料蒸發(fā)；網(wǎng)格構(gòu)件，設(shè)置在坩堝中并與沉積材料分隔開預(yù)定的距離，網(wǎng)格構(gòu)件包括通過其形成的多個開口；格子構(gòu)件，在坩堝中設(shè)置在網(wǎng)格構(gòu)件上以將網(wǎng)格構(gòu)件劃分成多個格子區(qū)域；多個熱球，設(shè)置在網(wǎng)格構(gòu)件上并填充格子區(qū)域；以及蓋，設(shè)置在坩堝上以覆蓋坩堝，蓋包括噴射孔以噴射蒸發(fā)的沉積材料。

熱球均可以具有大于開口的最短尺寸的直徑，熱球的直徑在從大約1mm至大約3mm的范圍。熱球可以由具有大約700攝氏度或更高的熔點(diǎn)的碳化硅纖維形成。

所述網(wǎng)格構(gòu)件還可以包括：側(cè)表面部分，具有環(huán)形形狀，并且與坩堝的內(nèi)壁接觸；以及網(wǎng)格網(wǎng)，連接到側(cè)表面部分的內(nèi)側(cè)表面的下部并設(shè)置為面向沉積材料，開口通過網(wǎng)格網(wǎng)形成。

所述格子構(gòu)件可以包括：多個第一格子構(gòu)件，沿著第一方向延伸，并且布置為沿著第一水平維度以規(guī)則的間隔彼此分隔開；以及多個第二格子構(gòu)件，沿著與第一方向交叉的第二方向延伸，并且布置為沿著第二水平維度以規(guī)則的間隔彼此分隔開，第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件將網(wǎng)格網(wǎng)劃分成格子區(qū)域。

第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件具有比側(cè)表面部分的高度高的高度。第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件的側(cè)表面的下部連接到側(cè)表面部分的內(nèi)側(cè)表面，第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件的下表面連接到網(wǎng)格網(wǎng)。

熱球可以設(shè)置到網(wǎng)格網(wǎng)并且彼此堆疊以到達(dá)第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件的頂部，堆疊的熱球的高度對應(yīng)于第一格子構(gòu)件和第二格子構(gòu)件的高度。