[發明專利]沉積源以及具有其的沉積設備

有效

• 申請號: 201310718402.0
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN104131253B
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 趙炫來;奇錫
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;韓芳

1.一種沉積源，所述沉積源包括：

坩堝，容納沉積材料并使沉積材料蒸發；

網格構件，設置在坩堝中并與沉積材料分隔開預定的距離，網格構件包括通過網格構件形成的多個開口；

格子構件，在坩堝中設置在網格構件上，以將網格構件劃分成多個格子區域；

多個熱球，設置在網格構件上并填充格子區域；以及

蓋，設置在坩堝上以覆蓋坩堝，蓋包括噴射孔以噴射蒸發的沉積材料，

其中，所述多個熱球具有比坩堝被加熱單元加熱至的溫度高的熔點，坩堝被加熱至所述溫度以蒸發沉積材料，所述多個熱球由在被加熱的坩堝的所述溫度下不具有任何排氣的材料形成。

2.根據權利要求1所述的沉積源，其中，所述開口具有一個最短的尺寸，每個熱球的直徑大于開口的所述最短尺寸，熱球的直徑在從1mm至3mm的范圍內。

3.根據權利要求2所述的沉積源，其中，熱球包括熔點為700攝氏度或更高的碳化硅纖維。

4.根據權利要求1所述的沉積源，所述網格構件還包括：

側表面部分，具有環形形狀，并且與坩堝的內壁接觸；以及

網格網，連接到側表面部分的內側表面的下部并設置為面向沉積材料，開口通過網格網形成。

5.根據權利要求4所述的沉積源，其中，所述格子構件包括：

多個第一格子構件，沿著第一方向延伸，并且布置為沿著第一水平維度以規則的間隔彼此分隔開；以及

多個第二格子構件，沿著與第一方向交叉的第二方向延伸，并且布置為沿著第二水平維度以規則的間隔彼此分隔開，第一格子構件和第二格子構件將網格網劃分成所述多個格子區域。

6.根據權利要求5所述的沉積源，其中，第一格子構件和第二格子構件具有比側表面部分的高度高的高度。

7.根據權利要求6所述的沉積源，其中，第一格子構件和第二格子構件的側表面的下部連接到側表面部分的內側表面，第一格子構件和第二格子構件的下表面連接到網格網。

8.根據權利要求6所述的沉積源，其中，熱球設置到網格網并且彼此堆疊以到達第一格子構件和第二格子構件的頂部，堆疊的熱球的高度對應于第一格子構件和第二格子構件的高度。

9.根據權利要求5所述的沉積源，其中，第一格子構件之間的距離和第二格子構件之間的距離均在從18.5mm至19.5mm的范圍，第一格子構件和第二格子構件的長度均在從55.2mm至57.2mm的范圍，第一格子構件和第二格子構件的高度均在從11.5mm至12.5mm的范圍。

10.根據權利要求9所述的沉積源，其中，側表面部分的外側表面的直徑在從59mm至61mm的范圍，側表面部分的外側表面的直徑與側表面部分的內側表面的直徑之差在0.8mm至1.2mm的范圍，側表面部分的高度在4.8mm至5.2mm的范圍。