[發明專利]一種單向可視低輻射玻璃的制作方法無效
| 申請號： | 201310718207.8 | 申請日： | 2013-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN103755155A | 公開（公告）日： | 2014-04-30 |
| 發明（設計）人： | 魏佳坤 | 申請（專利權）人： | 揭陽市宏光鍍膜玻璃有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/36 | 分類號： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙) 44286 | 代理人： | 吳劍鋒 |
| 地址： | 522000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單向 可視 輻射 玻璃 制作方法 | ||
1.一種單向可視低輻射玻璃的制作方法,其特征在于包括以下步驟：
A、采用氧氣作為反應氣體，氬氣作為保護氣體，直流電源濺射Nb平面靶，在玻璃基板上磁控濺射Nb2O5層；
B、采用氧氣作為反應氣體，氬氣作為保護氣體，交流電源濺射鋁旋轉靶，在步驟A中Nb2O5層上磁控濺射Al2O3層；
C、采用氬氣作為反應氣體，直流電源濺射銀平面靶，在步驟B中的Al2O3層上磁控濺射Ag層；
D、采用氬氣作為反應氣體，直流電源濺射Al平面靶，在步驟C中Ag層上磁控濺射Al層；
E、采用氬氣作為反應氣體，交流電源濺射氧化鈦陶瓷旋轉靶，在步驟D中的Al層上磁控濺射TiO2層。
2.根據權利要求1所述的一種單向可視低輻射玻璃的制作方法，其特征在于步驟A中所述Nb2O5層的厚度為10～15nm，所述氬氣與氧氣的體積比為2:3，濺射壓力2.5*10－3mbar,濺射功率10～15KW。
3.根據權利要求1所述的一種單向可視低輻射玻璃的制作方法，其特征在于步驟B中所述Al2O3層的厚度為15～25nm，所述氬氣與氧氣的體積比為1：2，濺射功率40～66KW。
4.根據權利要求1所述的一種單向可視低輻射玻璃的制作方法，其特征在于步驟C所述Ag層的厚度為8～10nm，所述直流電源的濺射功率3～6KW。
5.根據權利要求1所述的一種單向可視低輻射玻璃的制作方法，其特征在于步驟E中所述Al層的厚度為3～5nm，所述直流電源的濺射功率3～5KW。
6.根據權利要求1所述的一種單向可視低輻射玻璃的制作方法，其特征在于步驟A中所述玻璃基板的厚度為4～19mm。
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