[發明專利]外觀檢查裝置以及外觀檢查方法

無效

• 申請號: 201310717173.0
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN103837078A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 上村拓人;伊藤隆;山崎敬
• 申請（專利權）人: 株式會社拓普康
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01N21/956
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

技術領域

本發明涉及用攝像元件對半導體晶片等進行攝影而檢查外觀的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法。

背景技術

以往就檢查半導體晶片等試樣的外觀，進行探測在其表面上所形成的電路等的缺陷的外觀檢查。

專利文獻1公開了一種外觀檢查方法，其特征是，把具有互補顏色關系的3個點光，從互相成120度的角度的3個方向，從相對被檢查面斜向并且互相不同的垂直面，以在被照明面上互相重疊的方式進行照明，使上述被檢查面上的立體物的、通過上述3個點光形成的影連接地產生，調查上述影的XY坐標的連接度，判定是缺陷還是噪音。另外，在這樣的外觀檢查裝置中，為了提高檢查的精度，想出各種各樣的辦法。

另外，專利文獻2公開了一種微檢查裝置，包含：具有照射可干涉光的光源的微檢查用照明裝置、支撐形成有規定的圖案的微細被加工面的基板的支撐單元、和根據來自微細被加工面的衍射光判定在基板上形成的圖案是否從規定圖案發生變形的判定單元。在該裝置中，微檢查用照明裝置用照射包含有處于補色關系的2個顏色的可干涉光的光的裝置構成。微檢查用照明裝置對于支撐單元的微細被加工面以規定的角度照射可干涉光。

專利文獻1：參照日本特許第2914967號公報

專利文獻2：參照日本特開2001-141657號公報

但是，在以往的外觀檢查裝置中，有不能容易地識別關于試樣的外觀的詳細狀態、例如凹部和凸部的區別、臺階的判別等這樣的問題。

發明內容

本發明鑒于上述課題而做出的，其目的是提供能夠容易且詳細地檢測試樣表面的三維構造的缺陷的外觀檢查裝置。

為解決上述課題，本發明的外觀檢查裝置具備：配置試樣的試樣臺；具備光源并對上述試樣照射照明光的照明裝置；對用上述照明裝置照明的上述試樣進行攝像并輸出彩色圖像數據的攝像單元；以及根據上述彩色圖像數據檢查上述試樣的外觀的檢查處理部，其特征在于，上述照明裝置配置有多臺，各照明裝置對于上述試樣以不同的角度照射不同的波長范圍的照明光。

根據本發明，因為用多個照明裝置以不同的角度對試樣照射預定的不同波長范圍的照明光，所以在所取得的圖像數據中顯現與試樣的表面狀態相應的顏色，能夠容易地判別試樣表面的詳細的立體構造。

附圖說明

圖1是說明本發明的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法的原理的示意圖。

圖2是說明本發明的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法的原理的示意圖。

圖3是表示本發明的實施方式的外觀檢查裝置的概略結構的示意圖。

圖4是表示該外觀檢查裝置的結構的框圖。

圖5是表示該外觀檢查裝置的動作的流程圖。

圖6是表示用攝像裝置取得的圖像數據以及強調處理后的圖像數據的示意圖。

圖7是表示用攝像裝置取得的圖像數據以及強調處理后的圖像數據的示意圖。

符號說明

10：基板

11：斜面

12：損傷

13：斜面

14：突起

20：攝像裝置

100：外觀檢查裝置

110：試樣臺

120：顯微鏡

121：分光鏡

130：第一照明裝置

131：第一光源

132：第一波長選擇結構

133：圓板構件

134：旋轉驅動結構

140：彩色照相機

150：第二照明裝置

151：第二光源

152：第二波長選擇結構

153：圓板構件

154：旋轉驅動結構

155：導光單元

156：環照明單元

160：處理裝置

161：處理裝置主體

162：輸入裝置

163：圖像顯示裝置

S：試樣

具體實施方式

首先，說明本發明的原理。在本發明的外觀檢查裝置中，對于作為檢查對象的試樣以不同的角度照射不同波長范圍的多個照明光，用攝像單元取得被照射了多個照明光的上述試樣的彩色圖像數據，根據上述彩色圖像數據檢查試樣的外觀。