[發明專利]外觀檢查裝置以及外觀檢查方法

無效

• 申請號: 201310717173.0
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN103837078A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 上村拓人;伊藤隆;山崎敬
• 申請（專利權）人: 株式會社拓普康
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01N21/956
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

1.一種外觀檢查裝置，具備：配置試樣的試樣臺；具備光源并對上述試樣照射照明光的照明裝置；對用上述照明裝置照明的上述試樣進行攝像并輸出彩色圖像數據的攝像單元；以及根據上述彩色圖像數據檢查上述試樣的外觀的檢查處理部，該外觀檢查裝置的特征在于，

上述照明裝置對于上述試樣以不同的角度照射不同的波長范圍的照明光。

2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述照明裝置具備波長選擇結構，該波長選擇結構具備透過不同的波長范圍的光的多片透過濾光鏡；以及把從上述多片透過濾光鏡中選擇出的透過濾光鏡配置在從上述光源到上述試樣的光路中的濾光鏡選擇裝置。

3.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述照明裝置具備分別發生不同的波長范圍的光的多個光源；以及選擇照明上述試樣的光源的光源選擇單元。

4.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述照明裝置具備使光的波長范圍變更的波長范圍變更單元，進而用上述照明裝置照射的光的波長范圍是可變的。

5.根據權利要求1到4中的任何一項所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述照明裝置的照射到上述試樣的照射角分別不同。

6.根據權利要求5所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

從與上述攝像單元的攝像方向不同的方向向上述試樣照射照明光的上述照明裝置具備配置在上述試樣的觀察區域的上方的環狀的照明光射出部。

7.根據權利要求1到6中的任何一項所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述檢查處理部比較攝像得到的上述試樣的上述彩色圖像數據與成為上述試樣的基準的彩色圖像數據，進行外觀檢查。

8.根據權利要求1到6中的任何一項所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述檢查處理部對于攝像得到的上述試樣的上述彩色圖像數據，通過比較上述試樣的重復圖案彼此之間的自相關檢查進行外觀檢查。

9.根據權利要求7所述的外觀檢查裝置，其特征在于，

上述檢查處理部具備圖像處理單元，該圖像處理單元進行包含強調攝像得到的上述試樣的上述彩色圖像數據的特定波長范圍的強調處理、抽出上述特定波長范圍的抽出處理的圖像處理。

10.一種外觀檢查方法，其特征在于，

對作為檢查對象的試樣，以不同的角度照射不同的波長范圍的多個照明光，

用攝像單元取得被多個照明光照射的上述試樣的彩色圖像數據，

根據上述彩色圖像數據檢查上述試樣的外觀。

11.根據權利要求10所述的外觀檢查方法，其特征在于，

施行強調攝像得到的上述試樣的上述彩色圖像數據的特定波長范圍的強調處理。