[發明專利]顆粒物質傳感器單元

有效

• 申請號: 201310717066.8
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN104297109B
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 李津夏;S·林;全國鎮;李俊鏞;閔庚德;李承玹;金暎宰
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社;首爾大學校產學協力團
• 主分類號: G01N15/00
• 分類號: G01N15/00
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

一種顆粒物質傳感器單元，其可以包括靜電感應類型的傳感器部分、保護墊、加熱器電極和傳感器電極，所述傳感器部分可以在具有電荷的顆粒物質可能經過傳感器部分附近時反應，所述傳感器部分通過導電膏可以粘結在所述保護墊的一側上，所述加熱器電極可以形成在所述保護墊上并燃燒附著于所述傳感器部分上的顆粒物質以去除所述顆粒物質，所述傳感器電極可以形成在所述保護墊上以將可以由所述傳感器部分產生的信號傳輸至外部。

相關申請的交叉引用

本申請要求2013年7月18日提交的韓國專利申請第10-2013-0084909號的優先權，該申請的全部內容結合于此用于通過該引用的所有目的。

技術領域

本發明涉及一種顆粒物質傳感器單元，其有效地檢測顆粒物質，保持傳感器的靈敏度，并改進總體機械強度。

背景技術

用于減少排放氣體的顆粒過濾器(PF)應用至車輛。使用差壓傳感器以感測由顆粒過濾器收集的排放氣體的量。

顆粒過濾器可以選擇性地應用至所有內燃機，例如柴油車輛、汽油車輛和燃氣車輛。

未來，根據排放氣體控制，通過使用現有的差壓傳感器獲得的由柴油顆粒過濾器收集的顆粒物質的感測精度可能降低，且不容易感測到對于柴油顆粒過濾器的損傷。

同時，持續地進行對傳感器感測顆粒物質的研究，進行研究以通過顆粒物質粘附至傳感器時去除顆粒物質來維持傳感器的靈敏度，還進行研究從而改進傳感器部分的強度。

公開于該發明背景技術部分的信息僅僅旨在加深對本發明的一般背景技術的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域技術人員所公知的現有技術。

發明內容

本發明的各個方面旨在提供一種顆粒物質傳感器單元，其具有增強其傳感器部分強度、減少成本、并通過在生產過程中改進生產率來增加生產量的優點。

在本發明的一方面，顆粒物質傳感器單元可以包括靜電感應類型的傳感器部分、保護墊、加熱器電極和傳感器電極，所述傳感器部分在具有電荷的顆粒物質經過傳感器部分附近時反應，所述傳感器部分通過導電膏粘結在所述保護墊的一側，所述加熱器電極形成在保護墊上，并構造成燃燒附著于傳感器部分上的顆粒物質以去除顆粒物質，所述傳感器電極形成在保護墊上以將由傳感器部分產生的信號傳輸至外部。

所述傳感器部分可以包括傳感器本體、絕緣層、連接電極，硅材料的傳感器突出部分形成在所述傳感器本體的上側表面上，所述絕緣層覆蓋所述傳感器本體的上側和下側，所述連接電極通過沒有形成絕緣層的部分連接所述傳感器本體和所述傳感器電極。

其中所述傳感器電極形成在所述保護墊的上表面，加熱器電極形成在所述保護墊的下表面，其中所述導電膏應用在所述保護墊的上表面的一側上以覆蓋所述傳感器電極的一部分，其中所述傳感器部分粘結在所述導電膏上以固定在所述保護墊的上表面上。

所述傳感器部分或加熱器電極可以包括Pt、Mo和W的至少一種。

所述保護墊可以包括陶瓷材料。

所述傳感器本體通過蝕刻硅片制造。

所述絕緣層由SiO₂或Si₃O₄制得。

所述陶瓷材料可以包括Si₃O₄、莫來石或玻璃陶瓷。

如上所述，根據本發明的示例性實施方案的顆粒物質傳感器單元可以補充傳感器部分的強度，其中所述傳感器部分安裝在保護墊上，所述保護墊以硅片形成。

此外，由于硅片通過半導體生產過程制造且所述硅片通過導電膏安裝在保護墊上，生產成本可以降低，生產量可以增加。