[發(fā)明專(zhuān)利]顆粒物質(zhì)傳感器單元有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310717066.8 | 申請(qǐng)日： | 2013-12-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104297109B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李津夏;S·林;全國(guó)鎮(zhèn);李俊鏞;閔庚德;李承玹;金暎宰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 現(xiàn)代自動(dòng)車(chē)株式會(huì)社;首爾大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N15/00 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314 | 代理人： | 程偉;王錦陽(yáng) |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 顆粒 物質(zhì) 傳感器 單元 | ||
1.一種顆粒物質(zhì)傳感器單元，其包括：
靜電感應(yīng)類(lèi)型的傳感器部分，所述傳感器部分在具有電荷的顆粒物質(zhì)經(jīng)過(guò)所述傳感器部分附近時(shí)反應(yīng)；
保護(hù)墊，所述傳感器部分通過(guò)導(dǎo)電膏粘結(jié)在所述保護(hù)墊的一側(cè)上；
加熱器電極，所述加熱器電極形成在所述保護(hù)墊上并構(gòu)造成燃燒附著于所述傳感器部分上的顆粒物質(zhì)以消除顆粒物質(zhì)；以及
傳感器電極，所述傳感器電極形成在所述保護(hù)墊上以將由所述傳感器部分產(chǎn)生的信號(hào)傳輸至外部；
其中所述傳感器部分包括：
傳感器本體，在所述傳感器本體的上側(cè)表面上形成硅材料的傳感器突出部分；
絕緣層，所述絕緣層覆蓋所述傳感器本體的上側(cè)和下側(cè)；以及
連接電極，所述連接電極通過(guò)沒(méi)有絕緣層形成的部分連接所述傳感器本體和所述傳感器電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，
其中所述傳感器電極形成在所述保護(hù)墊的上表面，所述加熱器電極形成在所述保護(hù)墊的下表面，
其中所述導(dǎo)電膏應(yīng)用在所述保護(hù)墊的上表面的一側(cè)上以覆蓋所述傳感器電極的一部分，以及
其中所述傳感器部分粘結(jié)在所述導(dǎo)電膏上以固定在所述保護(hù)墊的上表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，其中所述傳感器部分或所述加熱器電極包含Pt、Mo和W的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，其中所述保護(hù)墊包含陶瓷材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，其中所述傳感器本體通過(guò)蝕刻硅片制造。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，其中所述絕緣層由SiO2或Si3O4制得。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顆粒物質(zhì)傳感器單元，其中所述陶瓷材料包含Si3O4、莫來(lái)石或玻璃陶瓷。
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