[發明專利]像素缺陷檢測方法和裝置

有效

• 申請號: 201310713365.4
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN104732900A
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 劉將;魏朝剛
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00;G01N21/89
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

技術領域

本發明涉及缺陷檢測技術，特別是涉及一種像素缺陷檢測方法和裝置。

背景技術

有機發光顯示（Organic?Light-Emitting?Diode，OLED）是主動發光顯示器件，相比目前主流的薄膜晶體管液晶顯示器（Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，TFT-LCD)，其具有高對比度，廣視角，低功耗，響應速度快，體積更薄等優點，有望成為繼LCD之后的下一代平板顯示技術。

在OLED的制造過程中，會因工藝的問題導致各種不良，其畫面顯示亮度的均勻性很難得到保證，如何提升良率就成為每個制造商都非常關心的問題。首先，必須對不良進行檢測，找出不良發生的根因，然后才可以有針對性的進行工藝上的改善提升良率。傳統的流水線上多采用自動光學檢測裝置對工藝中的一些不良進行檢測，其需要高精度的物理對準，因為對準偏差會直接影響像素級別的檢測效果。并限制了缺陷檢測的閾值設定，如果閾值設置過小，高的像素對比精度可能會造成大面積的誤檢，所以選擇合適的閾值比較困難，且容易出現漏檢。同時其高精度的定位移動掃描和復雜的圖像采集系統限制了其應用場合。

發明內容

基于此，有必要提出一種無需高精度物理對準和定位移動掃描的快速檢測方法和裝置。

一種像素缺陷檢測方法，包括如下步驟:

對待測基板進行視頻掃描；

抽取滿足預設條件的視頻幀圖片；

將所述視頻幀圖片與參考圖片進行配準獲取配準圖片；

將所述配準圖片與所述參考圖片進行對比分析確定缺陷像素。

在其中的一個實施例中，所述將所述配準圖片與所述參考圖片進行對比分析確定缺陷像素的步驟包括：

根據所述參考圖片中的采樣點確定所述配準圖片中的采樣區域；

將所述采樣區域與所述參考圖片中的對應區域進行對比，判斷所述采樣區域內是否有所述缺陷像素；

確定所述采樣區域的所述缺陷像素。

在其中的一個實施例中，在所述對待測基板進行視頻掃描的步驟前，還包括插入相應的濾波裝置的步驟。

在其中的一個實施例中，所述對待測基板進行視頻掃描具體為多次使用不同波長的濾波裝置重復的對所述待測基板進行視頻掃描。

在其中的一個實施例中，還包括獲取所述采樣區域像素的光譜曲線，然后根據所述光譜曲線的一致性判斷異常點的位置。

在其中的一個實施例中，將所述采樣區域的像素灰度與所述參考圖片中的對應區域的像素灰度的差值大于所述預設閾值的像素作為缺陷像素。

在其中的一個實施例中，所述抽取滿足預設條件的視頻幀圖片具體為等間隔抽取圖片之間的相關度在預設范圍的視頻幀圖片。

在其中的一個實施例中，所述對待測基板進行視頻掃描的模式為基板移動模式或相機移動模式。

在其中的一個實施例中，通過S型路徑勻速移動所述待測基板實現對所述待測基板進行視頻掃描。

在其中的一個實施例中，所述將所述視頻幀圖片與參考圖片進行配準獲取配準圖片的步驟包括：

計算所述視頻幀圖片與所述參考圖片之間的相關度；

將所述相關度最大值對應的所述視頻幀圖片和所述參考圖片相應部分對應起來作為配準圖片。

在其中的一個實施例中，所述將所述視頻幀圖片與參考圖片進行配準獲取配準圖片包括：

獲取所述視頻幀圖片與所述參考圖片之間的一對特征點；