[發(fā)明專(zhuān)利]用于邊緣場(chǎng)開(kāi)關(guān)模式液晶顯示設(shè)備的陣列基板及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310711877.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103901679A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭喜榮;安相昱;張真稀
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 樂(lè)金顯示有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/1343
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/1343;G02F1/1333;G02F1/1368
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);鐘強(qiáng)

1.一種用于邊緣場(chǎng)開(kāi)關(guān)模式液晶顯示設(shè)備的陣列基板，包括：

具有顯示區(qū)和非顯示區(qū)的基板；

在基板上的柵極線和柵極焊墊電極，所述柵極線在顯示區(qū)中沿著第一方向延伸，所述柵極焊墊電極布置在非顯示區(qū)中；

在基板上且與柵極線平行的公共線；

在柵極線、柵極焊墊電極和公共線上的柵極絕緣層；

在顯示區(qū)中沿著第二方向延伸的數(shù)據(jù)線和布置在非顯示區(qū)中的數(shù)據(jù)焊墊電極，所述數(shù)據(jù)線與柵極線交叉以限定像素區(qū)；

與柵極線和數(shù)據(jù)線電連接的薄膜晶體管；

覆蓋薄膜晶體管和數(shù)據(jù)線的第一鈍化層；

在第一鈍化層上并具有平坦頂部表面的第二鈍化層，所述第二鈍化層在顯示區(qū)中具有第一厚度和在非顯示區(qū)中具有第二厚度，所述第二厚度小于第一厚度；

在第二鈍化層上的公共電極，所述公共電極具有與薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的第一開(kāi)口并經(jīng)由公共接觸孔連接到公共線；

在公共電極上的第三鈍化層；和

在第三鈍化層上的像素電極、柵極輔助焊墊電極和數(shù)據(jù)輔助焊墊電極，所述像素電極連接到漏極并在像素區(qū)中包括條狀的第二開(kāi)口，所述柵極輔助焊墊電極連接到柵極焊墊電極，所述數(shù)據(jù)輔助焊墊電極連接到數(shù)據(jù)焊墊電極。

2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其中暴露出漏極的漏極接觸孔和暴露出數(shù)據(jù)焊墊電極的數(shù)據(jù)焊墊接觸孔形成在第一、第二和第三鈍化層中，暴露出公共線的公共接觸孔形成在柵極絕緣層和第一、第二鈍化層中，暴露出柵極焊墊電極的柵極焊墊接觸孔形成在柵極絕緣層和第一、第二和第三鈍化層中。

3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板，其中所述像素電極經(jīng)由漏極接觸孔接觸漏極，所述公共電極經(jīng)由公共接觸孔接觸公共線，所述柵極輔助焊墊電極經(jīng)由柵極焊墊接觸孔接觸柵極焊墊電極，所述數(shù)據(jù)輔助焊墊接觸孔經(jīng)由數(shù)據(jù)焊墊接觸孔接觸數(shù)據(jù)焊墊電極。

4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其中所述柵極絕緣層、第一鈍化層和第三鈍化層由包括氧化硅或氮化硅的無(wú)機(jī)絕緣材料形成，所述第二鈍化層由包括光丙烯的有機(jī)絕緣材料形成。

5.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其中所述第二厚度小于第一厚度的一半。

6.一種制造用于邊緣場(chǎng)開(kāi)關(guān)模式液晶顯示設(shè)備的陣列基板的方法，包括：

在具有顯示區(qū)和非顯示區(qū)的基板上形成柵極線、柵極焊墊電極和公共線，所述柵極線和公共線彼此間隔且在顯示區(qū)中沿著第一方向延伸，所述柵極焊墊電極連接到柵極線并布置在非顯示區(qū)中；

在柵極線、柵極焊墊電極和公共線上形成柵極絕緣層；

在柵極絕緣層上形成數(shù)據(jù)線和數(shù)據(jù)焊墊電極，所述數(shù)據(jù)線在顯示區(qū)中沿著第二方向延伸并與柵極線交叉以限定像素區(qū)，所述數(shù)據(jù)焊墊電極連接到數(shù)據(jù)線并布置在非顯示區(qū)中；

形成電連接到柵極線和數(shù)據(jù)線的薄膜晶體管；

在薄膜晶體管、數(shù)據(jù)線和數(shù)據(jù)焊墊電極上方形成第一鈍化層；

在第一鈍化層上形成具有平坦頂部表面的第二鈍化層，所述第二鈍化層包括暴露出公共線的公共接觸孔和分別暴露出薄膜晶體管的漏極、柵極焊墊電極和數(shù)據(jù)焊墊電極的第一、第二和第三接觸孔，所述第二鈍化層在顯示區(qū)中具有第一厚度和在非顯示區(qū)中具有第二厚度，所述第二厚度小于第一厚度；

在第二鈍化層上形成公共電極，所述公共電極具有與薄膜晶體管對(duì)應(yīng)的第一開(kāi)口并經(jīng)由公共接觸孔連接到公共線；

在公共電極上形成第三鈍化層，所述第三鈍化層包括分別與第一、第二和第三接觸孔對(duì)應(yīng)的暴露出漏極的漏極接觸孔、暴露出柵極焊墊電極的柵極焊墊接觸孔和暴露出數(shù)據(jù)焊墊電極的數(shù)據(jù)焊墊接觸孔；和

在第三鈍化層上形成像素電極、柵極輔助焊墊電極和數(shù)據(jù)輔助焊墊電極，所述像素電極經(jīng)由漏極接觸孔連接到漏極并在像素區(qū)中包括條狀的第二開(kāi)口，所述柵極輔助焊墊電極經(jīng)由柵極焊墊接觸孔連接到柵極焊墊電極，所述數(shù)據(jù)輔助焊墊電極經(jīng)由數(shù)據(jù)焊墊接觸孔連接到數(shù)據(jù)焊墊電極。