[發明專利]SiF4的制備方法

有效

• 申請號: 201310711119.5
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN103708470A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 李丹陽;楊先金;劉瑞;龔亞云;林樂洪;章林
• 申請（專利權）人: 貴州萬方鋁化科技開發有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

技術領域

本發明涉及化工領域，具體而言，涉及一種SiF₄的制備方法。

背景技術

四氟化硅（SiF₄）是一種重要的基礎化工產品，SiF₄可用于氮化硅、硅化鉭等的蝕刻劑、P型摻雜劑、外延沉積擴散硅源等，還可用于制備電子級硅烷或硅。SiF₄是有機硅化合物的合成材料，用于氟硅酸及氟化硅的制造，水泥和人造大理石的硬化劑，還用于等離子蝕刻、太陽能電池、復印機感光筒、非晶硅膜生成和化學氣相淀積等。SiF₄還是光導纖維用高純石英玻璃的原料。此外，SiF₄還廣泛用在制備氟硅酸和氟化鋁、化學分析、氟化劑、油井鉆探、鎂合金澆鑄、催化劑、蒸熏劑、水泥及人造大理石的硬化劑等。因此，SiF₄具有很大的市場需求空間。

在相關技術中，SiF₄的制備主要有以下方法：硫酸法和氫氟酸法；濃硫酸法是利用磷肥廠副產的氟硅酸制備的氟硅酸鹽、螢石粉、氟硅酸溶液和濃硫酸反應制備四氟化硅；氫氟酸法是在高溫條件下，將硅粉與無水氫氟酸混合制備四氟化硅。

但是，在以上兩種方法中，第一種方法需要耗費大量的濃硫酸和螢石粉；第二種方法中所用的無水氫氟酸的價格高昂；因此，在相關技術中，制備SiF₄的方法存在成本較高的缺陷。

發明內容

本發明的目的在于提供一種SiF₄的制備方法，以解決上述的問題。

本發明的實施例中提供了一種SiF₄的制備方法，包括以下步驟：

將含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物混合，得到混合物；

將所述混合物進行反應，得到氣態SiF₄。

本發明提供的這種SiF₄的制備方法，通過將含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物的混合物進行反應，進而得到氣態的SiF₄。

該方法在制備SiF₄的過程中，其所用的原料為含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物和氟化物，其原料價格比傳統的原料（濃硫酸和螢石粉或無水氫氟酸）廉價許多，進而降低了SiF₄的制備成本。

附圖說明

圖1示出了本發明實施例1提供的SiF₄的制備方法的流程圖；

圖2示出了本發明實施例2提供的SiF₄的制備方法的流程圖；

圖3示出了本發明實施例3提供的SiF₄的制備方法的流程圖；

圖4示出了本發明實施例4提供的SiF₄的制備方法的流程圖；

圖5示出了本發明實施例5提供的SiF₄的制備方法的流程圖。

具體實施方式

下面通過具體的實施例子并結合附圖對本發明做進一步的詳細描述。

本發明提供的一種SiF₄的制備方法，包括以下步驟：

步驟101：將含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物混合，得到混合物；

含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物混合之后得到待反應的混合物，以進行后續的制備操作。

步驟102：將混合物進行反應，得到氣態SiF₄；

得到混合物之后，通過將混合物進行反應，進而得到氣態SiF₄。

該方法在制備SiF₄的過程中，其所用的原料為含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物和氟化物，其原料價格比傳統的原料（濃硫酸和螢石粉或無水氫氟酸）廉價許多，進而降低了SiF₄的制備成本。

此外，本發明提供的這種SiF₄的制備方法，工藝步驟少，操作簡單，反應過程中還能夠得到混合氧化物，進而增加了制備過程中的附加值。

為了使得本發明實施例一的SiF₄的制備方法得到更好的應用，更加有效應用到制備高純度的SiF₄的過程中，上述的所有的流程還可以具體按照以下的步驟進行，現做詳細的闡述和解釋：

步驟201：將含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物混合，得到混合物；