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[發明專利]SiF4的制備方法有效

專利信息
申請號: 201310711119.5 申請日: 2013-12-20
公開(公告)號: CN103708470A 公開(公告)日: 2014-04-09
發明(設計)人: 李丹陽;楊先金;劉瑞;龔亞云;林樂洪;章林 申請(專利權)人: 貴州萬方鋁化科技開發有限公司
主分類號: C01B33/107 分類號: C01B33/107
代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 代理人: 吳開磊
地址: 550022 貴州省貴陽市國*** 國省代碼: 貴州;52
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: sif sub 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種SiF4的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

將含硅礦物原料或者含硅金屬氧化物與氟化物混合,得到混合物;

將所述混合物進行反應,得到氣態SiF4。

2.根據權利要求1所述的SiF4的制備方法,其特征在于,在所述將含硅礦物原料與氟化物混合,得到混合物的步驟中:

所述氟化物占所述混合物的重量百分數為20%-80%。

3.根據權利要求2所述的SiF4的制備方法,其特征在于,所述含硅礦物原料包括鋁礬土、粉煤灰、鐵礦石或含硅氧化物;

所述含硅金屬氧化物包括粒徑為95-500目的顆粒狀SiO2。

4.根據權利要求3所述的SiF4的制備方法,其特征在于,所述氟化物包括:質量濃度為25-40%的HF溶液、NH4F、NH4HF2、CaF2、NaF或AlF3

5.根據權利要求4所述的SiF4的制備方法,其特征在于,當所述氟化物包括NH4F、NH4HF2、CaF2、NaF或AlF3時,所述步驟將所述混合物進行反應,得到氣態SiF4具體包括:

將所述混合物在600℃-1300℃高溫煅燒3小時-15小時,得到氣態SiF4。

6.根據權利要求4所述的SiF4的制備方法,其特征在于,當所述氟化物包括質量濃度為25-40%的HF溶液時,所述步驟將所述混合物進行反應,得到氣態SiF4具體包括:

將所述混合物在100℃-200℃反應3小時-15小時,得到氣態SiF4。

7.根據權利要求4所述的SiF4的制備方法,其特征在于,所述含硅礦物原料為粒徑小于7毫米的顆?;蚍勰睿?/p>

所述NH4F、NH4HF2、CaF2、NaF或AlF3的粒徑均小于7毫米。

8.根據權利要求1-7任一項所述的SiF4的制備方法,其特征在于,在所述將所述混合物進行反應,得到氣態SiF4的步驟之后,還包括:

將所述氣態SiF4通過氣液分離、濃硫酸干燥、分子篩吸附和冷凝提純后得到純度為99%-99.9%的SiF4氣體。

9.根據權利要求8所述的SiF4的制備方法,其特征在于,在所述將所述氣態SiF4通過氣液分離、濃硫酸干燥、分子篩吸附和冷凝提純后得到純度為99%-99.9%的SiF4的步驟中,具體包括:

將所述氣態SiF4依次進行氣液分離和濃硫酸干燥,得到去除水蒸氣和/或氨氣的氣態SiF4

將所述去除水蒸氣或氨氣的氣態SiF4通過分子篩吸附,得到去除顆粒雜質以及酸性氣體的氣態SiF4

將所述去除顆粒雜質以及酸性氣體的氣態SiF4進行低溫冷凝,得到純度為99%-99.9%的SiF4液體;

將所述SiF4液體氣化,得到純度為99%-99.9%的SiF4的氣體。

10.根據權利要求9所述的SiF4的制備方法,其特征在于,所述低溫冷凝的溫度為-70℃--60℃。

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