[發(fā)明專利]刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310707894.3 | 申請(qǐng)日： | 2013-12-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104733276A | 公開（公告）日： | 2015-06-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐巖 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山國(guó)顯光電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀麗;鮑相如 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 刻蝕 窗口 遮擋 裝置 | ||
1.一種刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：包括安裝于刻蝕機(jī)箱體（5）內(nèi)壁上，并位于窗口（1）前側(cè)的透明遮擋物（2），所述透明遮擋物（2）為耐腐蝕件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述窗口（1）為刻蝕終點(diǎn)偵測(cè)器窗口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述刻蝕機(jī)箱體（5）上設(shè)置有用于安裝所述透明遮擋物（2）的支撐裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述支撐裝置為耐高溫絕緣件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述支撐裝置包括水平支撐件（3）以及位于所述水平支撐件兩側(cè)并互相平行設(shè)置的垂直支撐件（4）；所述水平支撐件（3）和所述垂直支撐件（4）的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置凹槽，所述透明遮擋物（2）插入所述凹槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述凹槽的寬度與所述透明遮擋物的厚度相匹配。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述凹槽寬度為0.5-2mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機(jī)的窗口遮擋裝置，其特征在于：所述透明遮擋物（2）為玻璃擋板。
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