[發(fā)明專利]用于切方機(jī)的金剛線切割工藝

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310703186.2
• 申請(qǐng)日: 2013-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103722624A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范威秋;賀賢漢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海漢虹精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 沈履君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于單晶硅、多晶硅技術(shù)加工領(lǐng)域，特別是一種切方機(jī)采用金剛線切割工藝。

背景技術(shù)

隨著光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體等高精端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工顯得猶為重要。近年來(lái)，世界各國(guó)研究開(kāi)發(fā)其切割設(shè)備，新工藝，新設(shè)備不斷涌現(xiàn)。將金剛線取代砂漿線切割，而金剛石線鋸切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢(shì)。

早期的線鋸加工技術(shù)是采用裸露的金屬線和游離的磨料，在加工過(guò)程中，將磨料以第三者加入到金屬線和加工件之間產(chǎn)生切削作用。這種技術(shù)被成功地用于對(duì)硅和碳化硅的加工。為了進(jìn)一步縮短加工時(shí)間，以及對(duì)其它堅(jiān)硬物質(zhì)和難以加工的藍(lán)寶石，碳化硅進(jìn)行加工，人們將金剛石磨料以一定的方式固定到金屬線上，從而產(chǎn)生了固定金剛石線鋸設(shè)備涉及一種鉆石線，是一種基線為鋼線，鋼線表面通過(guò)電鍍形式將金剛石顆粒包裹在鋼線表面，達(dá)到一定的切割能力之目的。

但目前的切方機(jī)在生產(chǎn)過(guò)程中穩(wěn)定性波動(dòng)比較大，批次之間的切割尺寸誤差較大，合格率僅僅只有50%左右，需經(jīng)再次修磨才能合格，工作效率地下同時(shí)也給公司帶來(lái)了極大的損失。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種切割精度高、次品率低的用于切方機(jī)的金剛線切割工藝。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明用于切方機(jī)的金剛線切割工藝，包括：第一步，將待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定；第二步，開(kāi)動(dòng)切方機(jī)進(jìn)行帶砂切割；其中，砂漿的流量≥18O升/分鐘，金剛線切割的線速為900米/分鐘，循環(huán)時(shí)間為90秒，新線送線量為6米/分鐘，進(jìn)給速度為2.0毫米/分鐘；第三步，從晶托分離并檢驗(yàn)。

所述金剛線線輪的最大張力為80牛頓。所述金剛線線輪的直徑為260毫米。所述金剛線線輪的材質(zhì)為鋁。

本發(fā)明用于切方機(jī)的金剛線切割工藝的借助高速的線速，達(dá)到切割進(jìn)給速度比用普通鋼線+碳化硅粉切割兩倍以上的效果，而且在提高速度的情況下，成品的尺寸精度達(dá)到檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)（切方尺寸控制：156.35毫米～157.35毫米），成品的穩(wěn)定性得到很好的保證。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明用于切方機(jī)的金剛線切割工藝，包括：第一步，將待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定；第二步，開(kāi)動(dòng)切方機(jī)進(jìn)行帶砂切割；其中，砂漿的流量≥18O升/分鐘，金剛線切割的線速為900米/分鐘，循環(huán)時(shí)間為90秒，新線送線量為6米/分鐘，進(jìn)給速度為2.0毫米/分鐘；由于金剛線需要高速切割（900米/分鐘），這就要求張力系統(tǒng)控制更靈敏，張力波動(dòng)更平穩(wěn)，將金剛線線輪的最大張力調(diào)整為80牛頓。而且由于切割的擠壓速度的加快，就要求線速度提高，為了減小繞線輪慣性扭矩，金剛線線輪由鐵輪變更為鋁輪；同時(shí)為了達(dá)到要求的線速度，采用加的直徑，金剛線線輪的直徑改為260毫米。第三步，從晶托分離并檢驗(yàn)。完成加工。

本發(fā)明用于切方機(jī)的金剛線切割工藝的借助高速的線速，達(dá)到切割進(jìn)給速度比用普通鋼線+碳化硅粉切割兩倍以上的效果，而且在提高速度的情況下，成品的尺寸精度達(dá)到檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)（切方尺寸控制：156.35毫米～157.35毫米），成品的穩(wěn)定性得到很好的保證。

以上已對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本發(fā)明創(chuàng)造并不限于所述實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。