[發明專利]用于切方機的金剛線切割工藝無效
| 申請號： | 201310703186.2 | 申請日： | 2013-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN103722624A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發明（設計）人： | 范威秋;賀賢漢 | 申請（專利權）人： | 上海漢虹精密機械有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海順華專利代理有限責任公司 31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 200444 上海市寶*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 切方機 金剛 切割 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.用于切方機的金剛線切割工藝，其特征在于，包括：
第一步，將待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定；
第二步，開動切方機進行帶砂切割；其中，砂漿的流量≥18O升/分鐘，金剛線切割的線速為900米/分鐘，循環時間為90秒，新線送線量為6米/分鐘，進給速度為2.0毫米/分鐘；
第三步，從晶托分離并檢驗。
2.根據權利要求1所述的用于切方機的金剛線切割工藝，其特征在于，所述金剛線線輪的最大張力為80牛頓。
3.根據權利要求2所述的用于切方機的金剛線切割工藝，其特征在于，所述金剛線線輪的直徑為260毫米。
4.根據權利要求2或3所述的用于切方機的金剛線切割工藝，其特征在于，所述金剛線線輪的材質為鋁。
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