[發明專利]雙層低折射率減反射膜的制備方法

在審

• 申請號: 201310700039.X
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN104711551A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 劉振宇
• 申請（專利權）人: 天津森宇仕達科技發展有限公司
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08
• 代理公司: 天津盛理知識產權代理有限公司 12209
• 代理人: 田陽

1.一種雙層低折射率減反射膜的制備方法，其特征在于：該制備方法的步驟如下：

⑴、將無水乙醇、PH=1的鹽酸標準溶液、去離子水、正硅酸乙酯按摩爾比配比,混合攪拌均勻后,在穩定環境下靜置陳化5-7天后,制得酸性催化條件下的SiO2溶膠；

⑵、將溶劑無水乙醇、反應物去離子水、催化劑醋酸、前驅體鈦酸丁酯按摩爾比依次加入到燒杯中，密封磁力攪拌4h后混合均勻，于室溫下靜置老化5～7天后備用。用無水乙醇對上述TiO2溶膠按不同比例進行稀釋，通過改變TiO2溶膠體的濃度，來調節TiO2薄膜覆蓋在SiO2膜上的厚度；

⑶、將超白玻璃基片放入洗液中充分洗滌后，再分別用無水乙醇和去離子水經超聲波充分洗滌，用氮氣吹干，放入烘箱中烘干后，置于干燥器中備用；

⑷、在相對濕度環境<50％的清潔環境下,采用CHEMATDIPMASTER200浸漬提拉法在潔凈的玻璃基片上先鍍一層酸催化SiO2膜,于80℃烘箱中烘30min后再鍍一層TiO2薄膜,提拉速度依據所需厚度在6～12inch/min間調節,最后將制備好的樣品經過200℃熱處理1小時后得到雙層低折射率減反射膜成品。