[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體P、N類(lèi)型非接觸測(cè)試裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310699140.8
• 申請(qǐng)日: 2013-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103675549A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙丹;顏友鈞;鄭鈺
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇瑞新科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/00
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/00
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 何蔚

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體P、N類(lèi)型非接觸測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體具有摻雜性可控導(dǎo)電特性的物理效應(yīng)，使其具有熱敏性、光敏性、磁敏性、及電子放大、突變能力等特點(diǎn)，因此在非電量電測(cè)信息電子技術(shù)、電子光學(xué)成像技術(shù)、通信、固體信息儲(chǔ)存器等具有很高的實(shí)用價(jià)值。

不同電學(xué)類(lèi)型的半導(dǎo)體材料具有不同的載流子特性，在應(yīng)用中也有不同需求。現(xiàn)有檢測(cè)半導(dǎo)體材料的P、N類(lèi)型大多使用接觸式冷熱探針?lè)ǎ瑯O易損傷半導(dǎo)體材料以致造成隱性缺陷。

因此，亟需一種非接觸的測(cè)試半導(dǎo)體P、N類(lèi)型的裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種半導(dǎo)體P、N類(lèi)型非接觸測(cè)試裝置。

實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體P、N類(lèi)型非接觸測(cè)試裝置，包括：紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，其輸出端與下述傳感器連接，用于給下述傳感器傳送激發(fā)脈沖；

傳感器，其輸出端與下述電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號(hào)傳送給電荷放大器；

電荷放大器，其輸出端與下述整形放大器連接，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；

整形放大器，其輸出端與下述相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路；

相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類(lèi)型。?

進(jìn)一步的，所述傳感器包括殼體、以及設(shè)置于所述殼體內(nèi)的紅外激發(fā)二極管和電荷感應(yīng)電極，所述紅外激發(fā)二極管輸入端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸出端連接，所述電荷感應(yīng)電極輸出端與所述電荷放大器輸入端連接。

進(jìn)一步的，還包括用于給所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路提供矩形波的矩形波激勵(lì)信號(hào)電路，所述矩形波激勵(lì)信號(hào)電路輸出端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸入端連接。

進(jìn)一步的，還包括第一LED燈和第二LED燈，所述第一LED燈和第二LED燈分別與所述相位鉗位電路輸出端連接。

本發(fā)明具有積極的效果：本發(fā)明紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)傳感器激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷并生成相應(yīng)的電荷信號(hào)，根據(jù)N型半導(dǎo)體為電子型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個(gè)脈動(dòng)正電荷信號(hào)，而P型半導(dǎo)體為空穴型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個(gè)脈動(dòng)負(fù)電荷信號(hào)；電荷放大器接收上述電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；整形放大器接收上述放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路由相位鉗位電路分別出半導(dǎo)體的P、N類(lèi)型；本發(fā)明中采用紅外激發(fā)二極管在感應(yīng)距離不超過(guò)0.15mm也可達(dá)到較高的準(zhǔn)確度，不需要直接與半導(dǎo)體接觸。

附圖說(shuō)明

為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中：圖1為本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為本發(fā)明傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖。

其中：1、外殼，2、電荷感應(yīng)電極，3、紅外激發(fā)二極管。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

如圖1至圖2所示，本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體P、N類(lèi)型非接觸測(cè)試裝置，包括：紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，其輸出端與傳感器連接，用于給傳感器傳送激發(fā)脈沖；

傳感器，其輸出端與電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號(hào)傳送給電荷放大器；

電荷放大器，其輸出端與整形放大器連接，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；

整形放大器，其輸出端與相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路；

相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類(lèi)型。?

上述實(shí)施例中傳感器包括殼體1、以及設(shè)置于殼體1內(nèi)的紅外激發(fā)二極管3和電荷感應(yīng)電極2，紅外激發(fā)二極管3輸入端與紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸出端連接，電荷感應(yīng)電極2輸出端與電荷放大器輸入端連接。

下面對(duì)本實(shí)施例的工作原理作進(jìn)一步說(shuō)明：1.紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)紅外激發(fā)二極管3激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷；