[發明專利]一種真空機械傳送系統

有效

• 申請號: 201310699013.8
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103700613A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 張定濤;吳成龍;鄭云友;李偉;宋泳珍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種真空機械傳送系統，包括機械手和真空腔；其特征在于，

所述真空腔包括設置在與腔門相對的腔體側壁上的伸縮支撐手和設置在腔體內部的升降針；其中，所述伸縮支撐手沿與腔門相對的腔體側壁向腔門的方向伸縮，所述升降針沿腔體底部向腔體頂部的方向升降；

所述機械手包括第一抓取板和第二抓取板；其中，所述第一抓取板位于上方，所述第二抓取板位于下方，且所述第一抓取板和所述第二抓取板固定在一起。

2.根據權利要求1所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述真空機械傳送系統還包括設置在所述真空腔的腔體外側且與所述伸縮支撐手相連的螺旋氣缸；

其中，所述螺旋氣缸用于控制所述伸縮支撐手的伸縮。

3.根據權利要求2所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述真空腔的與腔門相對的腔體側壁上設置有開孔，所述伸縮支撐手通過設置在所述腔體側壁上的開孔與所述螺旋氣缸相連；

其中，所述螺旋氣缸還包括設置在所述伸縮支撐手的伸出端的密封蓋，且所述密封蓋的形狀尺寸與所述開孔相匹配。

4.根據權利要求3所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述密封蓋的表面與所述真空腔的腔體內壁表面均為氧化鋁絕緣表面。

5.根據權利要求1所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述真空腔還包括設置在腔體底部的升降臺；

其中，所述升降針設置在所述升降臺上。

6.根據權利要求1所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述伸縮支撐手包括相同高度的兩個托板；

所述第一抓取板和所述第二抓取板也分別包括相同高度的兩個托板；

其中，所述第一抓取板的兩個托板之間的間距與所述第二抓取板的兩個托板之間的間距、以及所述伸縮支撐手的兩個托板之間的間距各不相同。

7.根據權利要求1所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述機械手還包括與所述第一抓取板和所述第二抓取板相連的伸縮臂、以及與所述伸縮臂相連的支撐臂；

其中，所述伸縮臂用于固定并控制所述第一抓取板和所述第二抓取板的伸縮；

所述支撐臂用于固定并控制所述伸縮臂的升降和旋轉。

8.根據權利要求7所述的真空機械傳送系統，其特征在于，所述真空機械傳送系統還包括與所述伸縮臂相連的第一電機、與所述支撐臂相連第二電機和第三電機；

其中，所述第一電機用于控制所述伸縮臂的伸縮；

所述第二電機和所述第三電機分別用于控制所述支撐臂的升降和旋轉。