[發(fā)明專利]納米腔誘導共振磁光克爾效應晶體材料的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310695403.8
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103668463A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 張霞;夏云杰;韓培高
• 申請（專利權(quán)）人: 曲阜師范大學
• 主分類號: C30B30/02
• 分類號: C30B30/02;C30B29/02;C30B29/64;C23C14/58;C23C14/35;B82Y40/00
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 袁敬清

1.一種納米腔誘導共振磁光克爾效應晶體材料的制備方法，其特征在于，包括步驟如下：

（1）在玻璃襯底上濺射Cr層后，在Cr層濺射Ag薄膜；

（2）利用自組織方法，在Ag薄膜上密排聚苯乙烯小球；

（3）在聚苯乙烯小球納米球間隙中沉積磁性材料；

（4）溶去聚苯乙烯小球PSS，即得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，具體包括步驟如下：

（1）首先將玻璃襯底依次放在無水酒精和丙酮中，用超聲波清洗器各清洗20分鐘，重復二至三遍，然后吹干放入濺射腔內(nèi)，抽真空至3.0*10^-5Pa，采用兩直流磁控濺射方式，先在玻璃襯底上生長緩沖層Cr，生長時通氬氣，氬氣壓維持在0.5Pa，厚度15-25?nm?，關(guān)掉Cr靶電源和氬氣，將濺射真空抽回至3.0*10^-5Pa，然后再次通氬氣，使氬氣壓維持在0.35Pa，啟輝Ag靶，濺射Ag薄膜至150-200?nm，濺射完畢一小時后，開腔，取出Ag薄膜樣品；

（2）利用自組織的方法，在Ag薄膜上密排聚苯乙烯小球；具體工藝為：PSS膠體溶液自組裝是在大氣環(huán)境中進行的，環(huán)境溫度為25攝氏度，濕度為50%，溶液濃度為10%，溶液在大氣中自然蒸發(fā)后，使聚苯乙烯小球六角密排在Ag薄膜表面，得到二維玻璃/Cr/Ag薄膜/PSS模板，其中PSS的直徑為400-750nm；

（3）在聚苯乙烯小球納米球間隙中沉積磁性材料；具體沉積工藝為：

磁性材料在PSS納米球間隙中的沉積是在CHI-1211A手提式電化學工作站上進行的，采用三電極法，用二維玻璃/Cr(/Ag薄膜/PSS模板為工作電極，Pt絲為對電極，Ag/AgCl為參比電極，沉積電壓為-1?V，沉積時間為150?S；使磁性材料生長在聚苯乙烯小球的間隙中；

（4）溶去聚苯乙烯小球PSS；首先將樣品放在四氫呋喃中，冷卻超聲30分鐘，取出用酒精沖洗后，放到丙酮中冷卻超10分鐘，此過程重復一次，最后樣品從丙酮中取出用酒精沖洗后，吹干，得到納米腔誘導共振磁光克爾效應晶體材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，?所述的聚苯乙烯小球的直徑為414nm，532nm、619nm或713nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，?所述的磁性材料為Co或Ni。