[發明專利]單晶硅直拉法熱屏調整工藝有效
| 申請號： | 201310689227.7 | 申請日： | 2013-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN103668440B | 公開（公告）日： | 2017-10-03 |
| 發明（設計）人： | 小暮康弘;賀賢漢;彭海鵬;王漢君 | 申請（專利權）人： | 上海申和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海順華專利代理有限責任公司31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 200444 上海市寶*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 直拉法熱屏 調整 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.單晶硅直拉法熱屏調整工藝，其特征在于，包括如下步驟：
第一步，當化料完成并且溫度穩定后熱屏下降，此時熱屏底端和坩堝內硅液表面的距離為10毫米～30毫米；
第二步，熱屏升高，此時熱屏底端和坩堝內硅液表面的距離為130毫米～200毫米，待溫度穩定后開始籽晶浸入熔體的過程；
第三步，籽晶浸入熔體過程完成后，熱屏下降，此時熱屏底端和坩堝內硅液表面的距離為10毫米～30毫米。
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