[發明專利]冷卻裝置以及真空蒸鍍設備有效
| 申請號： | 201310684824.0 | 申請日： | 2013-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN103668083B | 公開（公告）日： | 2016-10-19 |
| 發明（設計）人： | 焦志強;孫力 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 冷卻 裝置 以及 真空 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種冷卻裝置，用于冷卻真空蒸鍍設備的蒸發源，其特征在于，所述冷卻裝置包括：
若干個冷卻單元；
驅動單元，用于驅動所述冷卻單元包覆所述蒸發源；
設置于所述冷卻單元內部的冷卻管，所述冷卻管包括至少一個冷卻液進料口以及至少一個冷卻液出料口。
2.根據權利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管在所述冷卻單元內部的排布形狀呈Z字形。
3.根據權利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管在所述冷卻單元內部的排布形狀呈圓環形、U字形、鋸齒形中的任意一種或幾種。
4.根據權利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置還包括：制冷壓縮機，所述制冷壓縮機用于向所述冷卻管內壓入冷卻液。
5.根據權利要求4所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻液包括冷卻水、液態二氧化碳、乙醇中的任意一種或幾種。
6.一種真空蒸鍍設備，其特征在于，包括如權利要求1-5任意項所述的冷卻裝置。
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