[發明專利]沉積設備、薄膜形成方法、有機發光顯示設備及制造方法

有效

• 申請號: 201310684603.3
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN104069977B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 許明洙;金善浩;朱儇佑;金宰賢
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B05B16/20
• 分類號: B05B16/20;H01L27/32;H01L51/50;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 張云珠;李云霞

提供了一種沉積設備、一種使用該沉積設備形成薄膜的方法、一種有機發光顯示設備以及一種制造該有機發光顯示設備的方法。沉積設備被構造為在基底上形成沉積層。沉積設備包括：沉積源，構造為面向基底的第一側并朝向基底噴射一種或多種沉積材料；冷卻臺，構造為支撐基底的與基底的第一側相對的第二側；硬化單元，構造為硬化從沉積源噴射的并已到達基底的所述一種或多種沉積材料。通過使用沉積設備在基底上形成薄膜沉積層的方法包括：在基底位于沉積設備的冷卻臺上時，通過使用沉積設備的沉積源朝向基底噴射一種或多種沉積材料。

本申請要求于2013年3月28日在韓國知識產權局提交的第10-2013-0033667號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的全部內容通過引用包含于此。

技術領域

本發明實施例的各方面涉及沉積設備、使用該沉積設備形成薄膜的方法、有機發光顯示設備以及制造該有機發光顯示設備的方法。

背景技術

半導體裝置、顯示設備和其它電子裝置可包括多層薄膜。沉積是用于在這種裝置中創造薄膜的各種方法之一。

有機發光顯示設備作為下一代的顯示設備已經受到了很多關注。有機發光顯示設備具有寬的視角、優良的對比度和快速的響應速度。

示例有機發光顯示設備包括第一電極、第二電極以及第一電極和第二電極之間的夾層（或中間層）。有機發光顯示設備還包括保護第一電極、第二電極、夾層和其它元件的包封層（或包封單元）。包封層可包括多個層以提高包封質量，并且所述多個層可通過沉積方法形成。

然而，形成包封層并不是容易的工藝。顆粒或其它這種物體或表面不規則（在這里將全部簡單稱為“顆粒”）可能會妨礙包封工藝。包封層的一個目的是覆蓋這種顆粒，并且防止它們暴露以防止之后的故障并保持顯示設備如所設計的一樣工作。這種包封處理可能會需要長的時間，并且將包封層制備的與所期望的一樣厚（例如，覆蓋所有顆粒）可能會并不容易。因此，難以提高包封層的包封質量。

發明內容

本發明的實施例提供了一種可改善沉積層質量和包封質量的沉積設備、一種通過使用該沉積設備形成薄層的方法、一種有機發光顯示設備以及一種制造該有機發光顯示設備的方法。

根據本發明的示例實施例，提供了一種沉積設備。沉積設備被構造為在基底上形成沉積層。沉積設備包括：沉積源，構造為面向基底的第一側并朝向基底噴射一種或多種沉積材料；冷卻臺，構造為支撐基底的與基底的第一側相對的第二側；硬化單元，構造為硬化從沉積源噴射的并已到達基底的所述一種或多種沉積材料。

冷卻臺可被構造為接觸基底。

冷卻臺可至少與基底一樣大。

冷卻臺可包括構造為使冷卻材料循環的冷卻通道。

沉積源可包括噴射所述一種或多種沉積材料的一個或多個噴嘴。

沉積源可為花灑的形式。

硬化單元可比沉積源離基底更遠。

硬化單元可被構造為朝向基底輻射紫外光。

所述設備還可包括支撐沉積源和硬化單元的支撐構件。

支撐構件可圍繞沉積源的側面。

硬化單元可包括多個硬化構件，所述多個硬化構件在第一方向上至少具有基底在第一方向上的長度。

根據本發明的另一示例實施例，提供了一種使用沉積設備在基底上形成薄膜沉積層的方法。所述方法包括：在基底位于沉積設備的冷卻臺上時，通過使用沉積設備的沉積源朝向基底噴射一種或多種沉積材料。

所述一種或多種沉積材料可包括有機材料。