[發明專利]一種柔性精密電阻器及其制備方法

有效

• 申請號: 201310681881.3
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN103680787A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 彭坤;劉開鋒;劉紅元
• 申請（專利權）人: 蘇州智權電子科技有限公司
• 主分類號: H01C17/00
• 分類號: H01C17/00;H01C7/00;H01C1/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 連平

1.一種柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于包括有如下步驟：

（1）、首先在襯底表面沉積一層犧牲層；

（2）、將可形成陶瓷纖維膜的凝膠可織性溶膠旋涂至犧牲層表面；

（3）、高溫煅燒凝膠可織性溶膠，形成第一陶瓷纖維層；

（4）、在陶瓷纖維層表面沉積金屬或合金成分的電阻薄膜層；

（5）、再次將可形成陶瓷纖維膜的凝膠可織性溶膠旋涂至電阻薄膜層表面；

（6）、高溫煅燒凝膠可織性溶膠，形成第二陶瓷纖維層；

（7）、在第二陶瓷纖維層表面沉積保護層；

（8）、旋涂光刻膠并且光刻、干法刻蝕將電阻圖形化，之后去除殘留光刻膠；

（9）、沉積鈍化保護層；

（10）、旋涂光刻膠并且光刻、干法刻蝕形成電極與電阻薄膜層的連接孔，之后去除殘留光刻膠；

（11）、在鈍化保護層表面以及連接孔內部通過沉積導電材料于連接孔至電阻薄膜層，形成電極及電極連接部；

（12）、去除襯底犧牲層。

2.根據權利要求1所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：所述的犧牲層材料可以為鍺，或者是其它可以通過后續工藝加以去除的材料。

3.根據權利要求1所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：步驟（2）和步驟（5）中所述的可形成陶瓷纖維膜的凝膠可織性溶膠可為沉積氧化鋁的鋁氧凝膠可織性溶膠，也可以是可形成其它陶瓷纖維膜的凝膠。

4.根據權利要求3所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：所述的鋁氧凝膠可織性溶膠可采用如下比例、方法配置：將六水合氯化鋁3g、正硅酸四乙酯0.26ml、異丙醇鋁4.6g、無水乙醇8ml、冰醋酸0.8ml、鹽酸2ml、聚乙烯吡咯烷酮0.2g加去離子水攪拌至透明即可得到鋁氧凝膠可織性溶膠。

5.根據權利要求3所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：步驟（3）和步驟（6）中所述的高溫煅燒凝膠可織性溶膠，形成氧化鋁陶瓷纖維層，也可以是可形成其它成分的陶瓷纖維；采用的高溫煅燒方法如下：先以2℃/min升溫到600℃，保溫120min，再以5℃/min升溫到800℃，恒溫120min，可得到γ-Al₂O₃纖維，然后直接將其放入1400℃高溫爐煅燒120min，可獲得α-Al₂O₃氧化鋁陶瓷纖維。

6.根據權利要求1所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：步驟（4）中所述的電阻薄膜層可以是采用物理氣相沉積成分比例為50：50的CrNi合金，也可以是其它可提供高精度、低溫漂系數的金屬、合金材料。

7.根據權利要求1所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：步驟（7）中所述的保護層可以為氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它無機、有機化合物薄膜層。

8.根據權利要求1所述的柔性精密電阻器的制備方法，其特征在于：步驟（9）中所述的鈍化保護層可以為氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，也可以是其它無機、有機化合物薄膜層。

9.由權利要求1所述的制備方法得到的柔性精密電阻器，包括有電阻體和電極，其特征在于：所述的電阻體從下至上由第一陶瓷纖維層、電阻薄膜層、第二陶瓷纖維層以及保護層構成，電阻體外部包覆有鈍化保護層；電極的電極連接部穿過鈍化保護層、保護層以及第二陶瓷纖維層與電阻薄膜層相連。

10.根據權利要求9所述的一種柔性精密電阻器，其特征在于：所述的第一陶瓷纖維層和第二陶瓷纖維層為柔韌性良好的陶瓷纖維層；電阻薄膜層為可提供高精度、低溫漂系數的金屬、合金材料層；保護層以及鈍化保護層為可以提供鈍化保護的無機、有機化合物薄膜層。