[發明專利]一種基板的制作方法

有效

• 申請號: 201310681507.3
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN103646852B
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 張鋒;惠官寶;曹占鋒;姚琪
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;G02F1/1335;G02F1/1333
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本發明實施例公開了一種基板的制作方法，涉及顯示技術領域，能夠避免實際制得的黑矩陣或者彩色濾色層的線寬與設定的線寬之間的偏差，使黑矩陣能夠將薄膜晶體管、數據線和柵線剛好完全遮擋，同時能夠得到更加精細化的黑矩陣或者彩色濾色層圖案，提高了液晶顯示器的顯示效果。該基板的制作方法包括：形成待處理層，在所述待處理層上形成遮光層，通過構圖工藝，形成所述遮光層的圖案，其中，所述遮光層的材質為金屬；利用所述遮光層的圖案作為掩膜板對所述待處理層進行構圖工藝；去除所述遮光層。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種基板的制作方法。

背景技術

液晶顯示器是一種平面超薄的顯示設備，其結構主要包括陣列基板、彩膜基板以及位于陣列基板和彩膜基板之間的液晶分子層。陣列基板上主要設置有陣列排布的薄膜晶體管、數據線和柵線，彩膜基板上主要設置有黑矩陣和彩色濾色層。其中，黑矩陣的作用主要在于遮擋陣列基板上設置的薄膜晶體管、數據線和柵線，使液晶顯示器具有較好的顯示效果，因此黑矩陣應具有合適的線寬，以便剛好完全遮擋薄膜晶體管、數據線和柵線。此外，為了實現更好的遮擋效果，還可以使黑矩陣和彩色濾色層等結構直接設置于陣列基板上，其中黑矩陣位于陣列排布的薄膜晶體管、數據線和柵線的上方。

以上所述表明，黑矩陣的線寬的準確設定對液晶顯示器的顯示效果有很大影響。發明人發現，實際曝光工藝進行時，掩膜板與黑矩陣或者彩色濾色層基板之間存在一定的間隙，該間隙導致實際制得的黑矩陣或者彩色濾色層的線寬與所使用的掩膜板上相應圖案的線寬之間存在偏差。這一偏差導致實際制得的黑矩陣的線寬與設定的線寬不一致，因此黑矩陣不能夠將薄膜晶體管、數據線和柵線剛好完全遮擋，降低了液晶顯示器的顯示效果。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于提供一種基板的制作方法，能夠避免實際制得的黑矩陣或者彩色濾色層的線寬與設定的線寬之間的偏差，使黑矩陣能夠將薄膜晶體管、數據線和柵線剛好完全遮擋，同時能夠得到更加精細化的黑矩陣或者彩色濾色層圖案，提高了液晶顯示器的顯示效果。

為解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種基板的制作方法，采用如下技術方案：

一種基板的制作方法包括：

形成待處理層，在所述待處理層上形成遮光層，通過構圖工藝，形成所述遮光層的圖案；

利用所述遮光層的圖案作為掩膜板對所述待處理層進行構圖工藝；

去除所述遮光層。

所述遮光層的材質為金屬。

所述待處理層為黑色感光樹脂，利用所述遮光層的圖案作為掩膜板對所述待處理層進行構圖工藝之后，所述待處理層形成黑矩陣。

所述基板的制作方法，所述基板為彩膜基板，所述制作方法還包括：

在所述基板上形成彩色濾色層；

在形成的所述黑矩陣和所述彩色濾色層上形成透明保護層。

所述待處理層為彩色感光樹脂，利用所述遮光層的圖案作為掩膜板對所述待處理層進行構圖工藝之后，所述待處理層形成彩色濾色層。

所述基板的制作方法，所述基板為彩膜基板，所述制作方法還包括：

在所述基板上形成黑矩陣；

在形成的所述黑矩陣和所述彩色濾色層上形成透明保護層。

所述基板的制作方法，所述基板為陣列基板，所述形成待處理層，在所述待處理層上形成遮光層，通過構圖工藝，形成所述遮光層的圖案之前，還包括：

在襯底基板上形成柵極金屬層，通過構圖工藝，形成包括柵線和柵極的圖形；

在形成的包括所述柵線和所述柵極的圖形上，形成柵極絕緣層；