[發明專利]鎢鈦合金靶材、背板及鎢鈦合金靶材組件

在審

• 申請號: 201310674956.5
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN104711526A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;張亞光
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎢鈦合金靶材，包括濺射面，其特征在于，還包括焊接面，所述焊接面包括第一焊接區域、第二焊接區域以及第三焊接區域；

所述第二焊接區域通過所述第三焊接區域與所述第一焊接區域連接，所述第一焊接區域到所述濺射面的距離大于所述第二焊接區域到所述濺射面的距離，濺射時所述第一焊接區域的磁場強度大于所述第二焊接區域的磁場強度。

2.如權利要求1所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第一焊接區域到所述濺射面的距離為17.80mm至18.30mm，所述第二焊接區域到所述濺射面的距離為10.16mm至10.66mm。

3.如權利要求1所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第一焊接區域與所述濺射面的中心區域正對；

所述第二焊接區域包括第四焊接區域和第五焊接區域，所述第三焊接區域包括第六焊接區域和第七焊接區域；

所述第四焊接區域通過所述第六焊接區域與所述第一焊接區域連接，所述第五焊接區域通過所述第七焊接區域與所述第一焊接區域連接。

4.如權利要求3所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第一焊接區域、第四焊接區域、第五焊接區域、第六焊接區域以及第七焊接區域均為長度相等的長方形。

5.如權利要求4所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第四焊接區域與所述第六焊接區域形成的角為直角，所述第五焊接區域與所述第七焊接區域形成的角為直角。

6.如權利要求5所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第一焊接區域的寬度為50.55mm至51.05mm，所述第四焊接區域和第五焊接區域的寬度均為75.95mm至76.45mm。

7.如權利要求4所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第四焊接區域與所述第六焊接區域形成的角為鈍角，所述第五焊接區域與所述第七焊接區域形成的角為鈍角。

8.如權利要求7所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述鈍角的角度為120°至140°。

9.如權利要求7所述的鎢鈦合金靶材，其特征在于，所述第一焊接區域的寬度為50.55mm至51.05mm，所述第四焊接區域和第五焊接區域的寬度均為75.95mm至76.45mm。

10.一種背板，其特征在于，適于與權利要求1至9任一項所述的鎢鈦合金靶材連接，所述背板包括焊接面和背面，所述背板的焊接面包括凹槽，所述凹槽適于與所述鎢鈦合金靶材的焊接面的第一焊接區域和第三焊接區域相匹配。

11.如權利要求10所述的背板，其特征在于，所述背板為銅背板。

12.如權利要求10所述的背板，其特征在于，所述背板內部設置有冷卻水道。

13.一種鎢鈦合金靶材組件，其特征在于，包括權利要求1至9任一項所述的鎢鈦合金靶材和權利要求10至12任一項所述的背板，所述鎢鈦合金靶材的焊接面與所述背板的焊接面連接。