[發明專利]一種多晶硅鑄錠時的長晶控制方法無效

申請號：	201310668942.2	申請日：	2013-12-11
公開（公告）號：	CN103696001A	公開（公告）日：	2014-04-02
發明（設計）人：	王土軍;徐聞韜;徐增宏	申請（專利權）人：	浙江硅宏電子科技有限公司
主分類號：	C30B29/06	分類號：	C30B29/06;C30B28/06
代理公司：	杭州九洲專利事務所有限公司 33101	代理人：	陳繼亮
地址：	324300 浙江省***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種多晶鑄錠控制方法
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【權利要求書】：

1.一種多晶硅鑄錠時的長晶控制方法，其特征在于它包括下列步驟：A、將平鋪在坩堝底部的硅塊料部分溶化，余部分或少部分作為長晶用，然后降溫至硅溶點以下，開始長晶；B、長晶初期，長晶速度控制在0.4-0.8mm/h，時間持續3-4h；C、長晶過渡期，長晶速度控制在0.8-1.2mm/h，時間持續在4-6h；D、長晶穩定期，長晶速度控制在1.0-1.4mm/h，時間持續20-24h；E、長晶收尾期，長晶速度控制在0.8-1.0mm/h，時間持續6-8h。

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