[發(fā)明專利]冷阱及冷阱的安裝結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310664608.X
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN103893989A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 及川健
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: B01D8/00
• 分類號: B01D8/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

技術領域

本申請主張基于2012年12月26日申請的日本專利申請第2012-283119號的優(yōu)先權。其申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

本發(fā)明涉及一種冷阱及冷阱的安裝結構。

背景技術

冷阱為通過將氣體凍結在表面而進行捕捉來從環(huán)境氣體中除去的裝置。作為冷阱的用途之一，冷阱設置于主真空泵的跟前。水蒸氣等平衡蒸汽壓力較低的氣體被冷阱捕捉，而平衡蒸汽壓力較高的其他氣體通過主真空泵排出。

專利文獻1：美國專利第5483803號說明書

發(fā)明內容

本發(fā)明的一方式的例示性目的之一在于，提供一種具有較快的排氣速度的冷阱及冷阱的安裝結構。

根據本發(fā)明的一方式，提供一種冷阱，其設置于排氣對象容積與用于該容積的真空排氣的真空泵之間，其中，該冷阱具備：導管，用于將所述容積與所述真空泵連接；及冷板，被所述導管包圍，所述導管在被排氣側具備入口凸緣，在真空泵側具備出口凸緣，所述出口凸緣在所述導管的延伸方向上與所述入口凸緣隔開間隔而配設，所述入口凸緣的外徑大于所述出口凸緣的外徑。

根據本發(fā)明的一方式提供一種冷阱的安裝結構，其中，該冷阱安裝結構具備：導管，從被排氣側向真空泵側延伸；入口凸緣，設置于所述導管的所述被排氣側；及出口凸緣，設置于所述導管的所述真空泵側，所述入口凸緣的外徑大于所述出口凸緣的外徑。

另外，任意組合以上構成要件或在方法、裝置、系統(tǒng)等之間相互置換本發(fā)明的構成要件或表現形式，作為本發(fā)明的形態(tài)同樣有效。

發(fā)明效果

根據本發(fā)明能夠提供一種具有較快的排氣速度的冷阱及冷阱的安裝結構。

附圖說明

圖1為示意地表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的真空排氣系統(tǒng)的圖。

圖2為概略表示本發(fā)明的另一實施方式所涉及的冷阱的側剖視圖。

圖3為概略表示本發(fā)明的另一實施方式所涉及的冷阱的頂視圖。

圖中：10-冷阱，12-渦輪分子泵，13-排氣流路，14-入口開口，15-出口開口，16-真空腔室，18-閘閥，20-冷板，22-制冷機，24-導管，26-入口凸緣，28-出口凸緣，30-中心板，32-外周板，110-冷阱，113-排氣流路，114-入口開口，115-出口開口，120-冷板，124-導管，126-入口凸緣，128-出口凸緣，140-凸緣凹部，142-主體板，144-擴展板。

具體實施方式

圖1為示意地表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的真空排氣系統(tǒng)的圖。該真空排氣系統(tǒng)具備冷阱（cold?trap）10及用于對排氣對象容積（例如真空處理裝置的真空腔室16）進行排氣的主真空泵（例如渦輪分子泵12）。主真空泵為用于排氣至高真空區(qū)域的高真空泵。另外，主真空泵也可以是擴散泵。真空排氣系統(tǒng)除主真空泵以外還可以具備用于進行真空腔室16的粗抽的輔助泵。

渦輪分子泵12通過排氣流路13連接于真空腔室16。冷阱10配置于真空腔室16與渦輪分子泵12之間。冷阱10為所謂內嵌式冷阱。冷阱10例如配置于渦輪分子泵12的鉛直方向的上方。

以下，為明確表示構成要件之間的位置關系，有時使用“軸向”、“徑向”等術語。軸向表示沿排氣流路13的方向（或導管24的延伸方向），徑向表示與軸向垂直的方向。為方便起見，有時將軸向上離真空腔室16相對較近的稱為“上”，相對較遠的稱為“下”。即，有時將離渦輪分子泵12相對較遠的稱為“上”，相對較近的稱為“下”。在徑向上，有時將離排氣流路13的中心較近的稱為“內”，離排氣流路13的周緣較近的稱為“外”。另外，這種表達方式與冷阱10安裝于真空腔室16及渦輪分子泵12時的實際配置無關。例如，冷阱10可以以使出口開口15沿鉛直方向朝上且使入口開口14沿鉛直方向朝下的方式安裝于真空腔室16。

排氣流路13為用于使氣體從真空腔室16流向渦輪分子泵12的空間。因此，排氣流路13具有真空腔室16側的入口開口14與渦輪分子泵12側的出口開口15。應被排出的氣體從真空腔室16通過入口開口14進入到排氣流路13，并經由出口開口15流向渦輪分子泵12。

本實施方式中，入口開口14大于出口開口15。從入口側觀察時，入口開口14包含出口開口15。入口開口14為圓形，出口開口15與入口開口14為同心圓。