[發(fā)明專利]冷阱及冷阱的安裝結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310664608.X | 申請日: | 2013-12-09 |
| 公開(公告)號: | CN103893989A | 公開(公告)日: | 2014-07-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 及川健 | 申請(專利權(quán))人: | 住友重機(jī)械工業(yè)株式會社 |
| 主分類號: | B01D8/00 | 分類號: | B01D8/00 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 溫旭;郝傳鑫 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 安裝 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種冷阱,其設(shè)置于排氣對象容積與用于該容積的真空排氣的真空泵之間,所述冷阱的特征在于,具備:
導(dǎo)管,用于將所述容積與所述真空泵連接;及
冷板,被所述導(dǎo)管包圍,
所述導(dǎo)管在被排氣側(cè)具備入口凸緣,在真空泵側(cè)具備出口凸緣,所述出口凸緣在所述導(dǎo)管的延伸方向上與所述入口凸緣隔開間隔而配設(shè),
所述入口凸緣的外徑大于所述出口凸緣的外徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷阱,其特征在于,
所述冷板具備徑向內(nèi)側(cè)部分與徑向外側(cè)部分,
所述徑向外側(cè)部分在所述延伸方向上配設(shè)于所述徑向內(nèi)側(cè)部分與所述容積之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷阱,其特征在于,
所述徑向外側(cè)部分具有比所述導(dǎo)管的所述真空泵側(cè)的內(nèi)徑大的外徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的冷阱,其特征在于,
所述徑向外側(cè)部分具有比所述導(dǎo)管的所述被排氣側(cè)的內(nèi)徑大的外徑,
所述入口凸緣上形成有用于收容所述徑向外側(cè)部分的凹部。
5.一種冷阱的安裝結(jié)構(gòu),其特征在于,具備:
導(dǎo)管,從被排氣側(cè)向真空泵側(cè)延伸;
入口凸緣,設(shè)置于所述導(dǎo)管的所述被排氣側(cè);及
出口凸緣,設(shè)置于所述導(dǎo)管的所述真空泵側(cè),
所述入口凸緣的外徑大于所述出口凸緣的外徑。
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