[發明專利]系統自動預檢方法以及可自動預檢的系統

在審

• 申請號: 201310661864.3
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN104699020A
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 陳萍;許亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及半導體工廠自動化技術領域，特別是涉及一種系統自動預檢方法以及可自動預檢的系統。

背景技術

半導體制造業是一個高科技行業，也是一個高投資的行業。半導體制造工廠(Fab)為了實現其運營目標，提高生產力，其生產控制活動的自動化程度越來越高。為了提高Fab的自動化程度，目前，很多Fab引入制造執行系統(MES)，以控制和跟蹤不同批次(lot)的工序。MES會跟蹤Fab中資料的狀態(例如，工具、存儲設備、運輸設備等的狀態)，每當對lot完成一處理步驟(如光刻工藝、刻蝕工藝、線寬量測、膜厚量測等)時，將lot的狀態通知MES，并且MES根據通常的Fab特有的一組操作規定確定lot的下一步工序。

但是，在現有技術中，MES的報警系統不夠完善，當工程師對MES中某一lot的屬性修改出現錯誤時，MES無法檢測該錯誤，從而存在潛在危害。以MESSign?Off(傳簽系統)為例，MES?Sign?Off主要用于建立工序，例如，lot需要經過的工藝工序(Process)、量測工序(Edc)以及機臺(Equipment)等。當工程師提出不正確的Process、Edc、Equipment的屬性變動請求(例如，屬性的新建或修改)時，MES?Sign?Off無法給出預警，從而使得變動的工序具有潛在問題，可能會影響到線上的產品

因此，如何提供一種系統自動預檢方法以及可自動預檢的系統，能夠對系統的工序的潛在問題提供預檢，已成為本領域技術人員需要解決的問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種系統自動預檢方法以及可自動預檢的系統，能夠對系統的工序的潛在問題提供預檢，降低風險。

為解決上述技術問題，本發明提供一種系統自動預檢方法，包括：

根據所述系統的歷史的屬性數據建立一數據庫；

提出屬性變動請求，所述屬性變動請求包含需變動的屬性數據；

將所述需變動的屬性數據與所述歷史的屬性數據進行比對，并發出判斷信息。

進一步的，在所述系統自動預檢方法中，所述數據庫根據所述屬性數據的種類進行分類，將所述需變動的屬性數據與所述歷史的屬性數據進行比對的步驟包括：

根據所述需變動的屬性數據的種類，與同一種類的所述歷史的屬性數據進行比對。

進一步的，在所述系統自動預檢方法中，每一種類的屬性數據均包括若干子屬性，根據所述需變動的屬性數據的種類，與同一種類的所述歷史的屬性數據進行比對的步驟包括：

將所述需變動的屬性數據的子屬性與所述歷史的屬性數據的子屬性依次進行比對，找出與所述需變動的屬性數據最相關的所述歷史的屬性數據；

其中，所述判斷信息包括：所述需變動的屬性數據與最相關的所述歷史的屬性數據中不同的內容。

進一步的，在所述系統自動預檢方法中，所述系統自動預檢方法還包括：檢索一預設時間段內所述屬性數據的變化次數，當所述變化次數超出一預設次數后，發出警報。

進一步的，在所述系統自動預檢方法中，所述屬性數據包括工藝工序屬性數據、測量屬性數據和機臺屬性數據。

根據本發明的另一面，本發明還提供一種可自動預檢的系統，包括：

數據庫模塊，根據所述系統的歷史的屬性數據建立一數據庫；

接收模塊，用于接收屬性變動請求，并輸出屬性變動請求信息，所述屬性變動請求信息包含需變動的屬性數據；

分析模塊，分別與所述接收模塊和數據庫模塊相連，所述分析模塊接收所述屬性變動請求信息，并將所述需變動的屬性數據與所述數據庫中的屬性數據進行比對，并發出判斷信息。

進一步的，在所述可自動預檢的系統中，所述數據庫根據所述屬性數據的種類進行分類，所述分析模塊根據所述需變動的屬性數據的種類，與所述數據庫中的同一種類的屬性數據進行比對。

進一步的，在所述可自動預檢的系統中，每一種類的屬性數據均包括若干子屬性，所述分析模塊將所述需變動的屬性數據的子屬性與所述數據庫中的屬性數據的子屬性依次進行比對，找出與所述需變動的屬性數據最相關的所述數據庫中的屬性數據，所述判斷信息包括：所述需變動的屬性數據與最相關的所述數據庫中的屬性數據中不同的內容。

進一步的，在所述可自動預檢的系統中，所述系統還包括一檢索模塊，所述數據庫模塊還記錄所述數據庫中屬性數據的變化，所述檢索模塊與所述數據庫模塊相連，所述檢索模塊檢索一預設時間段內所述屬性數據的變化次數，當所述變化次數超出一預設次數后，所述系統發出警報。