[發明專利]系統自動預檢方法以及可自動預檢的系統

在審

• 申請號: 201310661864.3
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN104699020A
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 陳萍;許亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種系統自動預檢方法，包括：

根據所述系統的歷史的屬性數據建立一數據庫；

提出屬性變動請求，所述屬性變動請求包含需變動的屬性數據；

將所述需變動的屬性數據與所述歷史的屬性數據進行比對，并發出判斷信息。

2.如權利要求1所述的系統自動預檢方法，其特征在于，所述數據庫根據所述屬性數據的種類進行分類，將所述需變動的屬性數據與所述歷史的屬性數據進行比對的步驟包括：

根據所述需變動的屬性數據的種類，與同一種類的所述歷史的屬性數據進行比對。

3.如權利要求2所述的系統自動預檢方法，其特征在于，每一種類的屬性數據均包括若干子屬性，根據所述需變動的屬性數據的種類，與同一種類的所述歷史的屬性數據進行比對的步驟包括：

將所述需變動的屬性數據的子屬性與所述歷史的屬性數據的子屬性依次進行比對，找出與所述需變動的屬性數據最相關的所述歷史的屬性數據；

其中，所述判斷信息包括：所述需變動的屬性數據與最相關的所述歷史的屬性數據中不同的內容。

4.如權利要求1-3中任意一項所述的系統自動預檢方法，其特征在于，所述系統自動預檢方法還包括：檢索一預設時間段內所述屬性數據的變化次數，當所述變化次數超出一預設次數后，發出警報。

5.如權利要求1所述的系統自動預檢方法，其特征在于，所述屬性數據包括工藝工序屬性數據、測量屬性數據和機臺屬性數據。

6.一種可自動預檢的系統，包括：

數據庫模塊，根據所述系統的歷史的屬性數據建立一數據庫；

接收模塊，用于接收屬性變動請求，并輸出屬性變動請求信息，所述屬性變動請求信息包含需變動的屬性數據；

分析模塊，分別與所述接收模塊和數據庫模塊相連，所述分析模塊接收所述屬性變動請求信息，并將所述需變動的屬性數據與所述數據庫中的屬性數據進行比對，并發出判斷信息。

7.如權利要求6所述的可自動預檢的系統，其特征在于，所述數據庫根據所述屬性數據的種類進行分類，所述分析模塊根據所述需變動的屬性數據的種類，與所述數據庫中的同一種類的屬性數據進行比對。

8.如權利要求7所述的可自動預檢的系統，其特征在于，每一種類的屬性數據均包括若干子屬性，所述分析模塊將所述需變動的屬性數據的子屬性與所述數據庫中的屬性數據的子屬性依次進行比對，找出與所述需變動的屬性數據最相關的所述數據庫中的屬性數據，所述判斷信息包括：所述需變動的屬性數據與最相關的所述數據庫中的屬性數據中不同的內容。

9.如權利要求6-8中任意一項所述的可自動預檢的系統，其特征在于，所述系統還包括一檢索模塊，所述數據庫模塊還記錄所述數據庫中屬性數據的變化，所述檢索模塊與所述數據庫模塊相連，所述檢索模塊檢索一預設時間段內所述屬性數據的變化次數，當所述變化次數超出一預設次數后，所述系統發出警報。

10.如權利要求6所述的可自動預檢的系統，其特征在于，所述屬性數據包括工藝工序屬性數據、測量屬性數據和機臺屬性數據。